中古 MARCH PX-1000 #9094923 を販売中

MARCH PX-1000は、高度なプラズマプロセス技術により、優れた結果を確実に提供するように設計された高性能エッチャー/アッシャー装置です。MARCH PX 1000は、エッチング、アッシング、薄膜成膜の統合機能を備えたオールインワンソリューションで、R&D、半導体、MEMS、およびエレクトロニクス製造のより困難なアプリケーションに最適です。PX-1000エッチャー/アッシャーは、金属、セラミックス、ポリマー、その他のエッチングが困難でクリーンな基板など、幅広い材料をエッチングすることができます。最大エッチング速度は0。5 μ m/min、エッチングされたパターン分解能は1 μ mまでで、高いスループットで非常に細かく正確な結果を得ることができます。PX 1000には、酸化またはCVDのようなプラズマを幅広いエッチングおよびアッシング用途で製造することができる高度なプラズマユニットも装備されています。MARCH PX-1000はまた、エッチング処理を監視し、必要に応じてプラズマパラメータを調整する統合されたデジタル制御マシンを備えているため、より大きなプロセス制御を提供します。これにより、オペレータは特定のアプリケーション要件に応じてエッチングとアッシングのレシピをカスタマイズできます。さらに、MARCH PX 1000は現場診断と互換性があり、オペレータはプロセスをリアルタイムで監視し、適切で徹底的なエッチングとアッシングを保証することができます。優れたエッチングとアッシング機能を備えたPX-1000は、薄膜成膜機能を内蔵しています。この機能により、ユーザーは任意の厚さの1つ以上の薄膜をウェーハターゲットに堆積させることができます。これは、新規材料研究を含むアプリケーションや機能性コーティングやデバイスを作成するために特に有用であり、PX 1000は、研究および製造アプリケーションの広い範囲のための汎用性と強力なプラットフォームになります。合計すると、MARCH PX-1000エッチャー/アッシャーツールは、さまざまなエッチングおよびアッシング用途、および薄膜蒸着プロセス向けの強力で信頼性の高いツールです。MARCH PX 1000は、高度なプラズマ技術、高度なデジタル制御資産、積分薄膜蒸着機能を備え、幅広い研究および製造アプリケーションにおいて高性能エッチングおよびアッシングのための効果的で効率的かつ正確なプラットフォームを提供します。