中古 MARCH PX-1000 #9021103 を販売中

MARCH PX-1000は、マイクロエレクトロニクスデバイスの製造に使用するために設計されたエッチャー/アッシャーです。高温プラズマプロセスを用いた基板エッチング、パターニング、洗浄が可能な全自動装置です。これは、基板から不要な材料をエッチングして除去するための理想的なツールになる機能と機能の範囲が装備されています。中核には高温プラズマエッチャーを採用し、マイクロエレクトロニクスデバイスの精密エッチングに最適な不活性環境を実現しています。このシステムには、多くの交換可能なガスラインとソースが装備されており、0。13 mtorrから500 millitorrまでの基板材料の互換性とチャンバー圧力の範囲を可能にします。また、ウェーハ1枚あたり約45〜60秒の高速サイクルタイムを誇り、基板から不要な素材を素早くエッチング・除去することが可能です。PX-1000には使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）もあり、ユーザーはすべての機能や機能に簡単にアクセスして制御することができます。高度なプロセスレシピの編集とアーカイブ、高度なトランスポート/ローディング計画、リアルタイム監視などの一連の機能を備えており、各プロセスステップの完全な制御と柔軟性をユーザーに提供します。さらに、革新的なデジタルマイクロウェーブプラズマジェネレータを搭載しており、処理速度を飛躍的に向上させながら、精密に最適化されたエッチング結果を高精度に再現します。PX 1000はまた、半導体および関連産業の厳しい環境安全要件の要求を超えるように設計されています。その多くの安全機能、ツールの包括的な理解、高度なエンジニアリングのおかげで、MARCH PX-1000はあらゆるマイクロエレクトロニクスデバイス製造アプリケーションのニーズを満たすことができます。結論として、MARCH PX 1000は、マイクロエレクトロニクスデバイス製造アプリケーションに適した高度で完全に自動化された高温プラズマエッチャー/アッシャー資産です。多数の機能と機能を備えたPX-1000は、高速サイクルタイムと正確な再現性を備えた基板のエッチングと洗浄を可能にするだけでなく、オペレータに優しいユーザビリティと高度な安全基準を備えています。