中古 MARCH PX-1000 #293777657 を販売中

MARCH PX-1000は、ベンチトップの研究と大量生産ユーザーの両方のニーズに対応するように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。高精度で高度なプラズマ制御装置を搭載し、プラズマエッチング処理を最適に制御します。MARCH PX 1000は高いスループットを実現し、独立した電極と複数の基板とサイズを同時に収容できるマルチゾーンプラテンを備えています。さらに、PX-1000は優れた再現性を提供し、正確な同一のプラズマエッチング結果を提供します。PX 1000は、プロセスで使用されているガスのガス濃度と圧力の割合を制御するためにプリセットすることができるデジタルガスバルブを備えています。これにより、エッチング工程の流量、圧力、温度、湿度などのパラメータを正確に制御できます。また、MARCH PX-1000は、外部イオン化ソースとパルスモード機能を備え、エッチングプロセスをさらに制御することにより、柔軟性と優れたプロセス歩留まりを提供します。MARCH PX 1000には、自動ウェーハハンドリングロボットが搭載されており、エッチング用ウェーハの自動積み降ろし用エッチングシステムとの統合が可能です。これにより、プロセスのスループットとPX-1000の能力を最大限に引き出すことができます。さらに、PX 1000は、プラズマモニタリングを備えたクローズドループフィードバックユニットと、必要な基準を満たした場合の自動シャットオフ、および環境を清潔で安全に保つための排気装置を備えています。また、MARCH PX-1000は、Windowsスタイルのグラフィカルユーザーインターフェイスに基づく直感的なユーザーインターフェイスと、トラブルシューティングとエッチングプロセスの最適化に役立つ幅広い診断機能を備えています。さらに、MARCH PX 1000は、エッチングプロセスデータとパラメータを保存、取得、管理するために、ローカルPCに簡単に接続できます。要約すると、PX-1000は、研究と生産の両方のニーズに対応する柔軟性と、プラズマエッチング工程の優れた精度と制御を提供します。自動化されたウェーハの読み込みとアンロード、広範な診断機能、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス、およびクローズドループのフィードバックツールにより、PX 1000はエッチングのすべてのニーズに最適です。