中古 MARCH PX-1000 #293765898 を販売中

MARCH PX-1000は、幅広い半導体材料の精密加工用に設計された強力で信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。高温およびプラズマプロセスに耐えることができる高度なエッチングおよびアッシング装置です。MARCH PX 1000は、最大8。9リットルの特許取得済みの両面エッチングおよびアッシングチャンバーを備えています。このエッチング・アッシング・システムは、1。5 μ mという極めて精度の高いエッチング・アッシング分解能を提供し、極薄層の加工に最適です。PX-1000には、温度、圧力、圧力制御、RF電力など、さまざまな調整可能なパラメータが装備されており、エッチングプロファイルとエッチングおよびアッシング結果の再現性を最適化します。また、0。1°Cの分解能を持つ高精度温度制御ユニットを備えており、用途ごとに正確な温度制御が可能です。また、高度なプロセス制御インターフェースを備えており、一貫性のある安全な操作を提供します。さらに、PX 1000は高度な安全機能により、信頼性の高いプロセス安全性を提供します。安全なプロセスを確保するために圧力および温度センサーを装備しており、製造された材料を酸素やその他の環境汚染物質から保護する不活性ガス除去ツールを装備することができます。また、チャンバー内の圧力を正確に制御するための高圧放電機構と、エッチング下乾燥を避けるためのガス流量の低減を特徴としています。高性能なMARCH PX-1000は、お金に大きな価値を提供します。コンパクトで軽量で、あらゆる生産モデルに簡単に統合できます。さらに、装置は高精度で再現性があり、複数のアプリケーションに一貫した信頼性の高い結果を提供します。このように、MARCH PX 1000は、ほとんどの生産環境に適した高精度エッチングとアッシングの結果を実現します。