中古 MARCH PX-1000 #293711097 を販売中

MARCH PX-1000は、様々な半導体、セラミックス、その他の基材を含む幅広い材料に対応するために設計された先進的なエッチングおよびアッシング装置です。ユーザーに精密で信頼性の高いエッチングプロセスを提供し、正確なパターン、ピット、トレンチを作成するだけでなく、グラファイト、シリコン、銅などの材料の精密なアッシングプロセスを提供します。MARCH PX 1000は、ミクロンフィルター、デジタルマスフローコントローラ、および分布マニホールドからなる高度なプロセスガス配送システムを備えています。これにより、プロセスガスの安定した正確な流れが保証され、精密なエッチング結果が得られます。このエッチングユニットは、高度なプロセス制御を備えており、チャンバー圧力、RF電力、プロセスガス比、およびその他の重要なエッチングパラメータを含むすべてのエッチングパラメータを正確に制御できます。機械には自動化された温度制御モジュールが装備されており、ユーザーはエッチングおよびアッシングプロセス中に正確な温度制御を行うことができます。これにより、エッチング深度とアッシング品質を正確に制御し、材料表面の熱損傷を排除します。さらに、自動化されたシャッターを使用して、あらゆる空気中の粒子の流れを減らし、エッチングされた表面の品質を向上させることができます。PX-1000はまた、高速、高精度のエッチングとアッシングプロセスを可能にする高精度、完全に封じられたCO2レーザーツールを備えています。最大100nmの精度でエッチングが可能で、ドライエッチングやドライアッシングにも使用できます。さらに、デュアル周波数RFコイルを備えているため、片側および両側のエッチング処理が可能です。高度なレーザーアセットにより、ユーザーは高精度で高スループットの結果を得ることができます。このモデルは、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスを介して制御され、ユーザーはエッチングとアッシングプロセスを素早く設定および制御できます。さらに、エッチングまたはアッシングプロセスの最後に詳細なレポートをユーザーに提供する自動エンドポイント検出装置が装備されています。このレポートは、エッチングまたはアッシングプロセスの品質のさらなるレビューと分析に使用できます。さらに安全性を向上させるため、PX 1000エッチングおよびアッシングシステムには緊急停止ボタンが装備されており、一度起動するとエッチングまたはアッシングプロセスが自動的に停止します。さらに、エッチャー全体には、プロセスパラメータが設定値から逸脱したときにユーザーに通知する高度なアラームユニットが提供されます。これらの機能は、機械に安全性と信頼性の高い動作を提供します。