中古 MARCH PX-1000 #293701620 を販売中

MARCH PX-1000は、大型基板加工用に設計された高信頼性エッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、フラットパネルディスプレイ、太陽電池、半導体、MEMSデバイスの製造に適しています。エッチャー/アッシャーは、エッチングおよびアッシング処理に垂直プレート型チャンバーを使用しています。これにより、再現性の高い514mmまでの基板の均一なエッチングとアッシングが可能です。このユニットには最大4つの独立したPMモジュールが装備されており、複数のエッチングと灰のレシピに必要な柔軟性を提供します。MARCH PX 1000は、金属、ポリシリコン、およびシリコン上の堆積物の超低昇華率と高エッチング選択性を提供します。エッチングとアッシングのためのプラズマ源には、最大4kWの電力を持つ多周波RFジェネレータが含まれています。ターボ分子ポンプを使用して排気ガスを除去し、プロセスの均一性と優れたエッチプロファイルに必要な粒子を生成します。チャンバーには、回転または線形サンプル処理などの基板ステージオプションが選択できます。基板温度を最大250ºCまで維持するために専用の基板ヒーター機を用意しています。基質の暖房は時間ベースの温度調整でまたは熱くする地帯のプロフィールとして利用できます。部屋内の温度の均等性は±3ºCまたはよりよいです。PX-1000は、オートバンの起動や統合されたエッチングロードロックシステムなどの追加機能でカスタマイズすることもできます。PX 1000は、高い熱機械安定性を持つ部品や材料を使用して構築され、簡単なインストールとメンテナンスのために設計されています。O2、 N2ガス導入、酸素抵抗などのオプションも用意されています。このエッチャー/アッシャーツールは、均一で反復可能なエッチングとアッシングの結果を必要とする生産アプリケーション向けの信頼性の高いワークホースです。