中古 MARCH PX-1000 #293647792 を販売中

MARCH PX-1000は、半導体製造に使用されるエッチング/アッシング装置です。これは、金属、ポリマー、酸化物、およびその他の材料を迅速にエッチングして除去するように特別に設計された高度なプラズマエッチングおよびストリッピングツールです。MARCH PX 1000は、複数の技術と最適化されたプロセスパラメータを採用し、高いスループット率を維持しながら高品質の結果を達成します。PX-1000は、高密度プラズマエッチングと物理ストリッピングの両方のプロセスをエッチングシステムに統合し、他のエッチングシステムよりも高い選択性を持つ材料のエッチングを可能にします。また、最適なプロセス制御と材料除去率のために、さまざまなエッチングパラメータを正確に制御できます。PX 1000は、統合されたコンピュータコントロールユニットにより、ガス流量、圧力、温度、圧力比などのプロセスパラメータを正確に監視、測定、調整できます。MARCH PX-1000は、強力な自動レシピ制御機、高度なリアルタイムエンドポイント検出ツール、プロセスチャンバーの寿命を延ばすデュアルステージのプラズマクリーニング機能など、さまざまな機能も提供しています。マルチチャンバーとシンク設計により、MARCH PX 1000は最適な柔軟性とプロセス安定性を提供します。さらに、高度な真空資産は高品質の雰囲気を維持し、さまざまな真空レベルを可能にします。PX-1000は、薄い金属層や誘電層のウェハレベルのエッチング、薄膜金属のリフトオフ、金属表面のシェーピング、厚い金属の高アスペクト比エッチング、金属除去、トランジスタのパッシベーションなど、さまざまな用途に最適です。高度なエッチングとストリッピング機能を備えたPX 1000は、現代の半導体製造プロセスの多くにおいて非常に効果的で信頼性の高い製品です。