中古 MARCH PX-1000 #142222 を販売中

MARCH PX-1000 Etcher/Asherは、プラズマパワーを活用して様々な材料を様々なレベルや複雑さに正確にエッチングおよびアッシングする最新のドライエッチングおよびアッシング機器です。システムは、ベースユニット、制御ユニット、自動電極コントローラ、および石英エッチング/灰チャンバーで構成されています。MARCH PX 1000は、ウェーハと基板を最大6インチ（150mm）まで加工できます。基板材料の互換性は、金属からセラミックス、石英、ガラスまでさまざまです。PX-1000の高度なコントロールユニットは、さまざまなレシピを提供するたびに繰り返し可能な結果を得ることができるだけでなく、典型的な大規模なバッチエッチングプロセスをカバーするためにカスタマイズ可能な選択だけでなく、ワンオフ、研究開発スタイルの活動。自動電極メンテナンスが含まれており、機械は自動的に電極の浸食と摩耗を補償します。このDR-1000は、1016 Torr （134 mBar）と91 Wattsでウェーハあたり10秒の処理時間を達成することができ、最適なエンドポイントに到達するためのステップが追加されています。ガスの流れは非常に調節可能で、最大4つのプロセス原子炉ガスと、試薬/エッチング添加剤およびクリーニングガス用の最大3つのホースで構成されています。クォーツチャンバーは、複数の超低リーク、RFリング、放射線シールド、および調整可能なPTFEシャワーヘッドで設計されています。チャンバーは非常に調節可能であり、加工中に優れた柔軟性を提供する部品に数多くの安全な実装機会を提供します。PX 1000は、プラズマエッチングツールに最高の精度を提供し、研究開発や生産スタイルのプロセスに最適です。MARCH PX-1000は、Al、 Cu、 Cu合金、Fe、 SiCなどのさまざまな材料に理想的です。また、集積回路、複合半導体デバイス、MEMSデバイスなどのエッチング/アッシュアプリケーションに必要な柔軟性を提供します。MARCH PX 1000は、厳しい再現性と優れた長期信頼性を提供するターンキーエッチングソリューションとして存在します。