中古 MARCH PM-600 #9160093 を販売中

MARCH PM-600エッチャー/アッシャーは、半導体業界で使用するために設計された強力な自動エッチャーおよびアッシャーです。プラズマエッチングとリアクティブイオンエッチング（RIE）を使用して、ウェーハやその他の基板上に正確で高アスペクト比の機能を作成します。PM-600は、集積回路やその他のナノスケール部品などの精密デバイスの大量製造用に設計されています。MARCH PM-600は、エッチング生産に必要な時間を最小限に抑えるように設計されたハイスループットエッチャー/アッシャーです。自動化されたプロセスチャンバーを備えており、極めてクリーンで制御された環境で密閉して動作します。プロセスチャンバーには低圧、低温エッチング動作があり、エッチング速度をしっかり制御できます。プロセスチャンバーにはデュアルソース装置も備えており、エッチングとエッチングターゲットの両方を独立して制御できます。このデュアルソースシステムにより、エッチング速度と反転エッジのエッチプロファイルを細かく制御できます。PM-600は、エッチング処理を容易にするために設計されたさまざまな機能を備えています。高解像度のインラインイメージングユニットを備えており、高速で正確なアライメントが可能です。また、ユニバーサルガスパネルを備えており、エッチング化学を正確に制御することができます。MARCH PM-600には、リアルタイムのパーティクルモニターと、ユーザー定義のセットポイントに応じた動的エッチング調整を提供するエッチング・バイ・ステップの2次元プロファイリング機能も搭載しています。PM-600は、精密機器の効率的な生産に必要なコンフォーマルエッチングとハイスループット機能を提供します。インラインイメージングマシンと制御環境は、ウェーハやその他の基板上に高アスペクト比の機能を作成する上で重要な役割を果たします。MARCH PM-600は、デジタルコントローラー技術によってプログラムされたイオンエッチング、ケミカルエッチング、エッチングバイステッププロファイルなど、さまざまなエッチプロセスレシピを提供します。このユニットはユニバーサルガスパネルも備えており、エッチング化学を正確に制御することができます。PM-600は半導体業界での使用を想定して設計されており、ナノデバイス業界の加工ニーズを満たす効率的で汎用性の高いエッチング機能を提供します。