中古 MARCH PM-600 #9139715 を販売中

MARCH PM-600は、多種多様な基板を超高効率でエッチング・露出するために設計された高精度の自動エッチャー/アッシャー装置です。このシステムは高度な並列技術を使用しており、高スループットを実現しています。このユニットは、シリコン、GaAs、 AlGaAs、およびその他のIII-V材料を含むさまざまな基板をエッチングすることができます。8インチの大きなエッチングエリアを備え、複数のウェハを同時に処理できます。このツールには、プロセスの正確な表示と検査のためのリモートビデオ光学アセットも含まれています。Thevideo光学系は、エッチングパラメータが指定された公差内にとどまることを保証するために、ユーザー調整可能です。このモデルには、スパッタリングとケミカルエッチングの間の簡単な交換を可能にする2つの独立したスパッタリングガンが装備されています。これにより、ユーザーはノブの回転時にエッチング処理を迅速かつ効率的に切り替えることができます。PM-600は、自動化された保護機能も備えています。ユーザーの安全性とエッチングプロセスの完全性を保証するユニークな空気循環装置を備えています。システムには自動シャットオフスイッチが装備されており、作業中にユニットが露出した状態に置かれないようにしています。機械は高い発電、可変的な頻度RFの発電機を特色にします。これにより、ツールは幅広いRF周波数を処理し、必要なすべてのエッチングパラメータを正確に制御することができます。この資産には、精密なプロセスを確保し、エラーの可能性を最小限に抑えるための高度な自動化ソフトウェアも備えています。要約すると、MARCH PM-600は非常に汎用性が高く正確なエッチャー/アッシャーモデルであり、幅広い基板に最適です。この装置は、安全で正確なエッチング処理のための正確な制御と保護機能を備え、高いスループットレートを提供することができます。