中古 MARCH PM-600 #9118779 を販売中

MARCH PM-600は、自給自足のプラズマエッチャー/アッシャーで、工業生産や科学・研究用途に最適です。非常に効果的なプラズマエッチング/アッシング処理として、PM-600はステンレス基板と非金属基板の両方の正確で迅速で安全なエッチング/アッシング用に設計されています。3段式真空チャンバーを搭載し、低速駆動のダイレクトドライブ式ロータリーポンプで駆動し、優れた性能を発揮します。チャンバーには、エッチング/アッシングプロセス中に真空ユニット内の残留オゾン汚染を簡単かつ正確に測定できる統合オゾン検出システムが提供されています。MARCH PM-600は、RFコイルの下に基板を正確に配置するために、高解像度、プログラム可能、および調整可能なスキャンステージを採用しています。これにより、均一性と再現性を備えた基板の高速かつ正確なエッチングとアッシングが可能になります。基板に供給されるRFエネルギーは、可変電源を介して正確に制御することができ、異なるエッチング/アッシングプロセスに合わせて調整することができます。PM-600は、エッチング/アッシングガスの精密な流量と圧力調整を可能にするガス流量制御装置を備えており、エッチングおよびアッシング変数の包括的な制御を可能にします。さらに、このツールは、最適なプロセスの再現性のために基板を冷却する冷却ガス回路を備えています。このアセットは、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスと設定可能なプロセスパラメータを備えており、最大限の柔軟性と使いやすさを実現しています。MARCH PM-600は産業および研究の両方の適用のために設計され、半導体、医学、電子工学および他の関連分野で使用することができます。その信頼性の高い性能と堅牢な構造により、PM-600はあらゆるエッチング/アッシング用途に最適です。