中古 MARCH Plasmod #9234905 を販売中

MARCH Plasmodは、マイクロエレクトロニクスデバイスの製造および材料沈着用に設計されたハイテクで完全に自動化されたエッチャーおよびアッシャー装置です。高周波の電波を利用して、半導体ウェーハやその他の基板上にマイクロエレクトロニクス構造を選択的に堆積またはエッチングします。このシステム独自の物理蒸着技術は、高精度で低温プロセスを提供し、幅広い材料や用途に合わせて調整することができます。このユニットは、高い蒸着とエッチング速度を持つプラズマ源と、包括的なin situ欠陥監視を提供する統合フレームイメージマシンを備えています。Plasmodは、300〜1000°Cの幅広い温度範囲で、正確で再現可能なエッチングと蒸着プロセスを可能にします。サイクルごとに高速で無人のプロセスが完了するまで実行され、優れた再現性と制御を提供します。材料とガスの幅広い選択により、このツールは特定の材料、プロセス、および環境要件に合わせて調整することができます。複雑なパターン解析や欠陥解析も可能です。自動化された資産には、ユーザー固有のニーズに適応できるカスタマイズ可能なプログラミングを備えた統合ソフトウェアパッケージが含まれています。これは、一貫した製品品質を保証し、沈殿またはエッチング中にパラメータを調整して監視する機能を提供するリアルタイムのプロセス制御モデルが装備されています。この装置の設計は、高伝導性、低誘電率、低抵抗性、低温動作など、材料の蒸着にいくつかの利点を提供します。MARCH Plasmodの高度なコンピュータ支援設計ソフトウェアにより、さまざまな材料やアプリケーション環境に適応できます。Plasmodは、高精度と再現性を必要とするマイクロエレクトロニクスデバイスの製造やその他のアプリケーションに最適です。それは非常に信頼でき、作動し易く、信頼できる、良質パターンを作り出すことができます。自動化された操作と高速で正確な蒸着により、貴重な生産ツールであることが証明されています。柔軟なシステムは、幅広い基板やプロセスに対応するために調整することができ、信頼性の高いエッチングおよび成膜性能の業界標準です。