中古 MARCH Plasmod #9225186 を販売中

MARCH Plasmodは、エッチングおよび一般的なアッシング処理を行うために設計されたリアクティブイオンエッチング（RIE）アッシャー装置です。複数のサンプルを同時に処理できるため、ハイスループットエッチングに最適です。このシステムは、正確なエッチングと処理機能を可能にするタッチスクリーンユーザーインターフェイスを介して制御可能です。高周波13。56MHzの電源を使用してプラズマエネルギーを生成し、高出力のRIE処理能力を提供します。このエネルギーは、サンプルの表面をターゲットにしてエッチングするためにも使用され、クリーンで高解像度の結果をもたらします。この機械はさらに、精密な処理のためのガス供給ツールを利用しています。各プロセスは、内蔵のコントローラーを使用して微調整することができ、将来の使用のためにコントローラー内で様々なエッチングレシピを開発し、保存することができます。このアセットには内部真空ポンプモデルもあり、エッチング中にガスを素早く効率的に交換することができます。この装置は、温度制御された複数の真空チャンバ内で動作し、単一の真空チャンバーシステムと比較してプラズマ損傷の保護を高めることができます。これにより、エッチングの結果が高い一貫性と品質であることが保証されます。プロトコルの複雑さを軽減することは、システムの重要な機能であり、経験豊富なユーザーが数分でプロトコルをセットアップすることができます。さらに、ユーザーインターフェイスは、プロトコルを作成する際の各パラメータの連動と調整の量を減らすように調整されています。このユニットは、シリコン、有機物、無機物など、さまざまなサンプル材料と互換性があります。複数の材料を1回にエッチングすることが可能で、試作試験や試料バリエーション試験の柔軟性を高めます。このマシンには、最適なエッチングパラダイムを確保するための設計機能が組み込まれています。これらには、反応性イオンおよびプラズマ汚染の低減、自動圧力制御、および反復可能なプロセス結果が含まれます。このツールは安全性、性能、柔軟性を念頭に設計されており、あらゆるエッチング処理に最適なパートナーです。