中古 MARCH Plasmod #9100079 を販売中

MARCH Plasmodは、半導体技術から医療機器まで幅広い用途に対応する先端材料の研究開発用に設計されたエッチャー/アッシャーです。アッシングプロセスを使用して均一な薄膜層を作成し、基板表面から不要な部品を取り除き、薄膜寸法とフィーチャーサイズを正確に制御できます。エッチングとアッシングプロセスは、温度、圧力、流量を正確に組み合わせたガス混合物を使用して不要な材料を除去または廃止します。プラズモッドのコアコンポーネントは、プロセスチャンバー、プレシャワー、ヒーター、ガス源、ガスマニホールド、冷却ユニット、ソレノイド制御バルブで構成されています。多目的エッチャー/アッシャーのモジュール設計により、ユーザーは特定のアプリケーションを作成するためにカスタマイズできるさまざまなプロセスオプションから選択できます。MARCHプラズモッドエッチャー/アッシャーは、温度、クリーニング、エッチングプロセスの正確な制御を可能にする高度な加熱技術を備えています。また、可変抵抗および誘導加熱機能を備えたマルチプロセスチャンバーと、完全なプロセス制御のための4つの独立したガスラインを備えています。チャンバーサイズは、0から3300 SCCMまでの選択可能なガス流量で最適化されているため、小型バッチまたは大規模生産処理に最適です。プラズモッドは、構造に先進的な材料を使用し、耐食性、高真空格付けのステンレス製インテリアを備えており、耐久性を最大限に高めています。MARCH Plasmodはまた、プロセスパラメータを高速かつ正確に制御できるユーザーフレンドリーなプログラマブル機能を採用しています。それはさまざまな適用を収容するために利用できる封じられたおよび開いた単位様式で利用できる。Plasmod装置は、精密で反復可能で経済的なプロセスを保証するために、多くの高度な機能を提供しています。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスは、アッシングプロセスの複雑なパラメータを簡単に調整するように設計されています。自動化されたプロセス制御、十分なプログラム可能な機能、および生産性とコスト効率を高めるための完全な回路アラーム監視も備えています。さらに、MARCH Plasmodには、危険物への偶発的な暴露からユーザーを保護するための高度な安全機能が含まれています。全体として、Plasmod etcher/asherは先端材料の研究開発のために設計された高度で信頼できる単位です。モジュラー設計、直感的なユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイス、高度なプロセス制御、自動化されたプロセス制御、および多数の安全機能を備えています。MARCH Plasmodは、信頼性が高く経済的なエッチングとアッシングプロセスを求めるお客様に理想的な機械です。