中古 MARCH Plasmod #9058869 を販売中

MARCHプラスモッドは、様々な材料の表面にナノスケールのパターンを製造するために使用される最先端のエッチング技術です。DRIE （Deep Reactive-Ion Etching）やALD （Atomic Layer Deposition）などの物理化学プロセスを組み合わせて、表面に化学的に異なるパターンを作成することによって機能します。プラズモッド装置は、ナノメートルスケールの特徴をパターニングするモジュール的アプローチを可能にするために、いくつかのモジュールで構成されるクラスタツールです。たとえば、コアモジュールには、プラズマ源とエッチング/クリーンチャンバー、および一連の電極が含まれています。これに加えて、各モジュールには、ガス、フラックスおよびフラッシング接続システム、圧力コントローラ、電源、およびインターロックの異なるセットが含まれていることがあります。MARCH Plasmodシステムを使用する最初のステップは、エッチングプロセスに適した基板を準備することです。これは、表面積が高い基板にパターンを作成することによって達成されます。これは、リソグラフィ、RFスパッタリング、および化学エッチング技術の組み合わせを使用して行われます。これが完了すると、基板はPlasmodユニットのコアモジュールに配置されます。コアモジュールに入ると、基板は高出力で低周波のRFプラズマにさらされます。これはエッチングされている材料と反応する強いエッチング化学を生成し、表面に望ましいパターンにつながります。このプロセスでは、基板の清浄度、エッチング速度、温度を監視する必要があり、電源レベルとガスの流れを調整することで必要に応じて調整することができます。エッチングが完了すると、MARCH Plasmodマシンを原子層成膜（ALD）プロセスに使用できます。ALDは、基板表面に均一な薄膜を形成するために使用される蒸着技術です。これは、基質を2つの異なる前駆体に交互に露出させ、それらを重合させて材料の単原子層を形成することによって行われる。沈着プロセスが完了すると、基板は洗浄され、Plasmodツールから除去する準備が整います。アプリケーションの種類に応じて、機能サイズは数ナノメートルから数マイクロメートルの範囲にすることができます。MARCHアセットは、金属、セラミックス、ポリマーなどの材料にも使用できます。要約すると、MARCH Plasmodは、幅広い基板上にナノメートルスケールの特徴を作成することができる高度なエッチングモデルです。