中古 MARCH P-1000 #9184478 を販売中

MARCH P-1000はプラズマエッチャー/アスパーで、エッチング、イオンミリング、その他の関連プロセスに使用される半導体およびエレクトロニクス業界で使用される機械の一種です。この機械は、MAGIC （Magnetron-Assisted Gas Injection Chamber）技術に基づいており、プロセスパラメータを効果的に制御し、プラズマ負荷を低減します。これは、ユーザーが簡単に設定し、プロセスパラメータを制御することができますタッチスクリーンを備えた完全に自動化されたマシンです。P-1000は4インチから6インチまでの複数のウエハーのサイズで働くことができ、空気または不活性ガスの流れを制御するための2つのガスのノズルが装備されています。これは、プラズマプロファイルとスパッタ速度を最適化するのに役立ちます。このマシンにはリモートプラズマジェネレータも装備されており、ユーザーはプロセスを簡単に監視し、使用される材料の種類に応じてパラメータを調整することができます。高性能イオン源を搭載し、エッチングやスパッタ操作に強力なイオンを生成します。その強力なマグネトロンは、均一なイオン爆撃を作成し、ダークライン欠陥の発生を低減するのに役立ちます。さらに性能を向上させるために、プロセス中の不活性ガスの流れを制御および監視するための独立した高分解能ガスバルブシステムが装備されています。さらに、このマシンは、圧力、温度、RF電力などの複数のプログラム可能なユーザー定義パラメータも備えており、ユーザーはエッチングプロセスをアプリケーションに合わせて調整することができます。MARCH P-1000機械は非常に有効、信頼でき、最低のダウンタイムの長期操作のために絶えず作動することができます。高度な安全対策により、安全限界を超えると機械の機能を遮断してオペレータの安全を確保します。このマシンはまた、自己監視プログラムを備えており、障害の早期発見と予防に役立ちます。これらの堅牢な機能により、P-1000は半導体業界のエッチングおよびスパッタリング用途に最適です。