中古 MARCH INSTRUMENTS PX 1000 #9156928 を販売中

MARCH MARCH INSTRUMENTS PX 1000は、高精度エッチングとアンダーカット特性を備えた基板の製造を可能にするエッチャー/アッシャーシステムです。PX 1000は、半導体、ディスプレイ、およびMEMSアプリケーションに適しています。これは、エッチングプロセスを正確に制御する機能と、より小さな基板をより大きなサイズにエッチングする柔軟性があるためです。MARCH INSTRUMENTS PX 1000は、LAMまたはレーザーアブレーション加工を利用しています。PX 1000は、レーザービームと制御されながらも調節可能な基板ステージで構成されています。これにより、エッチング処理を正確に完了するとともに、1時間あたり最大10,000ウェーハの高いスループット率を誇ります。MARCH INSTRUMENTS PX 1000には、S基板版とT基板版の2つのモデルがあります。S基板バージョンは350 umから8 mmまでの基板をエッチングするように設計されていますが、T基板バージョンは350 umから4 mmまでの基板を小さくするために設計されています。PX 1000にはウェーハエッジ位置決め技術が搭載されており、ウェーハの中心位置を正確に把握することができます。これにより精密なエッチングが可能となり、最適な角度アライメントでウェーハを切断することができます。MARCH INSTRUMENTS PX 1000には、限られた領域内の5ミクロンに正確な弓と傾きを補正するアクティブ基板レベリング機能もあります。PX 1000は、1度未満の角度エッチング公差で高いフォトリソグラフィ精度を提供することができます。ウェハステージの熱制御も正確で、温度範囲は15〜25°Cです。MARCH INSTRUMENTS PX 1000は、石英とガラスの両方の基板をエッチングすることができ、100％のクリーンルーム互換性があります。EMCやCEなどの業界標準に準拠しており、RoHSなどの環境要件にも準拠しています。PX 1000は、ユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えており、オペレータがマシンの状態を監視し、必要なメンテナンスを決定できるようにするための診断機能を備えています。システムには、プロセス制御を維持するためのオンボードメトロロジーソフトウェアと、ウェーハ監視用ソフトウェアが付属しています。MARCH MARCH INSTRUMENTS PX 1000は、精度とパフォーマンスを考慮して設計されたエッチャー/アッシャーシステムです。高いフォトリソグラフィ精度、正確な熱制御、ウェーハエッジ位置決め機能を提供します。さらに、使いやすく、業界標準を満たしているため、さまざまな半導体、ディスプレイ、MEMSアプリケーションに適しています。