中古 MARCH INSTRUMENTS PX 1000 #9146117 を販売中

MARCH INSTRUMENTS PX 1000は、半導体業界のさまざまな用途向けに設計されたエッチャー/アッシャーです。この装置は完全に自動化されたプラットフォームに基づいており、さまざまな要件や構成に合わせて調整することができます。金属、ポリマー、誘電体など様々な素材のエッチングに最適な幅広い機能を備えています。PX 1000は2部構成のシステムです。最初の部分はプロセスチャンバー、2番目は接続ボックスです。プロセスチャンバーはステンレス製で、エチャント流入に使用されますが、接続ボックスには機器を制御するために必要な電子機器やその他のコンポーネントが含まれています。この装置はプロセス部屋への手動アクセス港を備え、部屋を避難させるための真空の単位を含んでいます。機械はまた部屋の中の温度を調整するのを助けるガスの暖房装置を含んでいます。MARCH INSTRUMENTS PX 1000には4軸操作ユニットが装備されており、あらゆる方向に駒を動かすことができます。この機能により、切断、穴あけ、エッチング工程における最大限の効率と柔軟性が保証されます。さらに、同時及び同時逆転エッチングを可能にする2つのサイド・バイ・サイド・パフュージョン・プレートを備えています。さらに、デュアルサイドマニホールドツールは、ウェットエッチングからドライエッチングへの切り替えを容易にします。PX 1000の制御資産は、容易で信頼性が高く、繰り返し可能なエッチング条件を提供するように設計されています。温度、圧力、ガスタイプ、ドウェル時間、ウェハスピード、エッチング深さなど、さまざまなプロセスパラメータを調整できます。さらに、MARCH INSTRUMENTS PX 1000は、最先端の監視および診断モデルも提供しています。この機器は、ユーザーがリアルタイムでプロセスデータを表示することができ、より迅速なトラブルシューティングのための障害検出とアラーム機能を提供します。PX 1000は、最も要求の厳しい半導体アプリケーションのニーズを満たすように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。このシステムは、幅広い機能を備えており、さまざまなエッチングプロセスで正確な制御と信頼性の高い動作を提供します。最先端の制御ユニットにより、プロセスパラメータを素早く調整し、再現性と正確な結果を得ることができます。さらに、機械は取付け、作動し易く、それを多くの適用のための理想的な選択にします。