中古 MARCH INSTRUMENTS Plasmod #9236960 を販売中

MARCH INSTRUMENTS Plasmodは、プロセス内の統合に最適な完全自動エッチャー/アッシャーです。最先端のプラズマ技術により、高品質のエッチングとアッシングを提供します。装置全体が密閉されたユニット内に囲まれているため、追加の安全対策が不要です。操作が簡単で、便利なタッチスクリーンのユーザーフレンドリーなインターフェースを備えています。Plasmodは非常に汎用性が高く、最適なプロセス操作のための複数の構成が含まれています。エッチャーは、アモルファスやポリシリコンなど、さまざまな材料に高解像度エッチングを提供します。この汎用性により、あらゆる用途で複雑なパターンや構造を作成することができます。アッシャーは炭素とフォトレジストの残留膜を素早く除去するために、素早いアッシングサイクルを提供します。システムには、すべてのプロセス設定とパラメータを記録するプロセス監視ユニットも含まれています。収集されたデータは、エッチングまたはアッシングプロセスを改善するために使用できます。さらに、リモートコントロールマシンは、他の機器に簡単に統合することができます。さらに、MARCH INSTRUMENTS Plasmodは、データ転送とリモートプロセス監視のためにPCに接続することができます。このツールには、乾燥、エッチング、アッシングプロセス用のガスインレットが内蔵されており、便利に交換可能なガスラインが付属しています。内部ヒーターはプロセスの間にガスの適切な安定化を保障します。さらに、ガスラインには事故防止のための安全弁が含まれています。さらに、Plasmodは専用のろ過アセットで汚染粒子を最小限に抑えるように設計されています。このモデルは、エッチング室から離れた汚染物質や粒子を抽出するために、作り付けの高品質の差動ポンプ装置を利用しています。これにより、微粒子を最小限に抑えた極めてクリーンな表面が得られ、優れた膜移動と歩留まりの向上が可能になります。MARCH INSTRUMENTS Plasmodは、メンテナンス要件を最小限に抑えて長年にわたって構築された信頼性の高いシステムです。使いやすいタッチスクリーンインターフェイスとシンプルなセットアップにより、Plasmodはエッチングとアッシングプロセスに最適です。汎用性の高い設定、包括的なプロセス監視、クリーンな結果を提供し、製品の歩留まりを促進します。