中古 MARCH FlexTRAK #9210328 を販売中

MARCH FlexTRAKは、ウェーハエッチングおよびアッシングプロセスの効率を最大化するために特別に設計されたエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは完全に自動化されたソリューションで、エッチング時間の短縮、迅速なプロセススケジューリング、優れたレシピの一貫性を提供します。それは生産および研究開発の適用にとって理想的です。ユニットは、優れたチャック安定性とレシピの再現性を提供する高度な圧力制御可変電力アーキテクチャに基づいています。これにより、一貫したエッチングとアッシュプロファイルが保証され、結果を得るまでの時間が短縮されます。自動化されたプロセススケジューリング機能により、特定のアプリケーションに適したエッチング構成を迅速に生成できます。FlexTRAKは、取付けが簡単で、操作に最小限のトレーニングが必要なコンパクトな設計を誇っています。このツールは、2つの自動ロボットに接続されている2つのチャンバー（エッチングチャンバーとアッシングチャンバー）で構成されています。これらのロボットは、チャンバー間でウェーハを転送し、ウェーハをエッチングチャンバーにロードおよびアンロードする責任があります。MARCH FlexTRAKには高度なプロセスコントローラが装備されています。このコントローラーは容易な操作のための直観的な8。4インチ色のタッチスクリーンを特色にします。このボックスには、エッチングと灰プロセスを正確に監視する高スループットの光学イメージング資産もあります。FlexTRAKには、エッチングチャンバーに最大25個のウェーハをロードできる独自のローディングモデルがあります。装置のロードロックは、目的のウェーハを自動的に運搬してロックし、正確かつ再現可能な結果を得ることができます。MARCH FlexTRAKはまた、メモリとレシピの設定機能の広い範囲を提供しています。これにより、ユーザーはアクセスと再現性を容易にするために、すべてのエッチングとアッシュ構成を保存できます。これらの設定は、簡単にアクセスできるメモリライブラリに保存されているため、目的のアプリケーションの正確なエッチングとアッシュ設定を簡単に生成できます。結論として、FlexTRAKは優れたチャック安定性と優れたレシピの一貫性を提供する高度なエッチングおよびアッシングシステムです。インストールが簡単で、最低限のトレーニングが必要で、1回の実行で最大25個のウェーハを処理できます。また、直感的なタッチスクリーン、高速処理スケジューリング、自動化されたレシピアーカイブなど、便利な機能も備えています。