中古 MARCH FlexTRAK #9101089 を販売中

MARCH FlexTRAKは、精度、費用対効果、効率性を考慮して設計された汎用性の高いRFアッシャー/エッチャー装置です。最新のエッチング技術の最高の側面と、ユーザーフレンドリーなプラットフォームの柔軟性を兼ね備えています。このシステムは非常に汎用性が高く、高度な製造プロセスを処理することができます。この分野は3つの同心RFリングによって概説されており、ガス環境を3つの層に分けることで、エッチング処理を高精度な温度、圧力、流量条件で行うことができるように効率的に調整することができます。この設計により、1つのレシピをほぼ100％使用して複雑なパターンを達成できます。ユニットの中心には、400キロヘルツから4メガヘルツまでの周波数で最大500ワットを提供できる頑丈で高性能なRFモジュールがあります。これの精度は、同じようなモジュールよりも2つの精度の順序です。高周波により、エッチング時間が短縮され、歩留まりが向上します。FlexTRAKには、ユーザーとマシン間のインタラクティブインタフェースを提供する統合されたプログラマブルコントローラもあります。これにより、プロセスガス、温度、圧力、チャンバードアクションなどのエッチングプロセスを完全に制御できます。コントローラは複雑なレシピを簡単に構成および実行できるように設計されており、プロセスパラメータをデバッグおよび変更する柔軟性があります。さらに、このツールはアクティブ冷却機能と堅牢な制御アセットを備えており、サンプル全体にわたって均一なエッチング深度を確保します。これにより、モデルは非常に効率的になり、エッチングの深さと均一性を正確に制御できます。装置は、絶縁特性がプロセス全体で一貫していることを確認するために湿度制御されています。最後に、システムは安全を念頭に置いて設計されています。エッチングチャンバーは一定の圧力で保持され、有害な材料をユニットに導入できないようにし、すべての可動部品に安全シャットオフがあり、ヒューマンエラーによる部品の損傷がないようにします。全体として、MARCH FlexTRAKは精密エッチングプロジェクトに最適なRFアッシャー/エッチャーマシンです。最新のエッチング技術と非常に正確な制御、ユーザーフレンドリーなソフトウェア、優れた安全機能を組み合わせています。また、汎用性が高く、複雑なプロセスを容易に処理することができます。