中古 MARCH FlexTRAK-SH #9232254 を販売中

MARCH FlexTRAK-SHは、微細加工ラボ向けに設計されたエッチャー/アッシャーで、幅広い用途に対応しています。この装置は高度な精度を備えており、プログラマブルなレシピ制御と標準回転およびウェーハ軌道を自動化しています。また、MARCH "Trak-Tool'と完全に統合されています。これにより、プログラミングなしでウェハハンドリングとエッチングのレシピ開発が可能になります。システムのメンテナンス性も低く、操作も簡単です。FlexTRAK-SHは、2つのRF誘導結合プラズマ源を含む「ヘリオス」チャンバー設計を特徴としています。これは、LPCVD、 LPCVD OIS、 OLED、 ECRなどのPECVDおよびPE-CVDプロセスの両方のエッチングを提供します。これにより、ウエハサイズが小さくても、プラズマ密度と均一性が非常に高くなります。また「、ヘリオス」チャンバーにはZフライトスキャンラインオプションがあり、大きなアスペクト比の大きなウェハを均一にエッチングできます。MARCH FLEXTRAK-SHはまた、可変エッチング率を提供し、酸化物、窒化物、ポリシリコン、金属、金属合金などの材料をエッチングする機能を持っています。また、直径12インチまでのウェーハのエッチングも可能です。ユニットは、ユーザーの安全を確保するだけでなく、化学物質の漏洩を防ぐために、エンベロープセキュリティシステムの外に装備されています。エッチャー/アッシャーには、圧力、温度、およびO2レベルを検出するさまざまなプロセスセンサーがあり、エッチングプロセスを正確に制御できます。FlexTRAK-SHは、操作が簡単で幅広いラボアプリケーションに適した強力で汎用性の高いツールです。これは、信頼性と再現性の高い結果を確保するために、カスタマイズ可能なレシピとソフトウェアツールで高精度と精度を提供します。高度な「ヘリオス」チャンバー設計により、機械の性能がさらに向上し、均一で均一なエッチング率の生産が保証されます。エッチャー/アッシャーは、ユーザーの安全を確保するためにさまざまな安全対策を講じています。