中古 MARCH FlexTRAK-SH #293629358 を販売中

MARCH FLEXTRAK-SHは、MARCH、 Inc。が製造するフル機能の低コストのエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、ラピッドプロトタイピング、ラピッドデバイス製造、R&Dプロジェクトに最適です。EST （Easy Spin-Transfer） Vacuum Chuckを搭載し、360度、複数のウェーハのローディングとアンロード機能を備え、正確で安全なウェーハ位置決めを保証します。このユニットは、CAF （Common Air-Flow）チャンバーに囲まれたすべてのコンポーネントと、敏感なデバイス構造に対する化学的な損傷を防ぐ革新的な保護装置を備えた、安全で信頼性の高い動作用に設計されています。このツールはまた、すべてのコンポーネントが反応する化学物質の経路を最適化するように設計されているため、効率的な熱流束プロファイルを提供します。直感的なユーザーインターフェイスにより、ユーザーはすべてのアセットパラメータを制御できますが、正確なモーションコントロールと事前にプログラムされたレシピの完全なESP （Pattern）ライブラリにより、高速で正確で繰り返し可能なウェーハ処理が可能になります。FlexTRAK-SHモデルも環境に配慮しており、化学加工装置の運用に関わる環境問題を排除しています。これは完全に密封された、発煙なしの強化された避難システムおよび提供される安全で、きれいな操作による。最後に、MARCH FlexTRAK-SHユニットは、完全に統合されたCentralized Controllerを備えており、すべてのマシンパラメータを制御するための統合されたオートメーションプラットフォームを提供し、既存のツール固有のレシピライブラリに簡単に統合できます。