中古 MARCH FLEXTRAK-2MB #9259611 を販売中

MARCH FLEXTRAK-2MBは、幅広い用途に最適なユニークで汎用性の高いエッチャー/アッシャーです。シリコンウェーハをはじめとする様々な素材に正確なエッチングとアッシングを可能にする複数の機能を備えています。MARCH FLEXTRAK 2MBエッチャー/アッシャーには、使いやすい11インチのタッチスクリーンコントロールパネルが付属しています。優れた表面平坦性と均一性を作り出すために使用できるアルカリエッチング溶液を搭載しています。さらに、このシステムには取り外し可能なより低いラックがあり、ウェーハの積み降ろしがはるかに簡単になります。2モードFLEXTRAK-2MB動作ユニットにより、再現性と再現性にも優れています。これには、コントロールパネル設定を使用して特定のエッチサイクルを繰り返す手動モードと、前のエッチサイクルのコントローラ設定を使用して一連のエッチングを繰り返す自動モードがあります。この機械にまたより精密なエッチングを作成するために理想的である温度調整があります。エッチングとアッシングのプロセスは、ユーザーがウェーハを精査してエラーを特定するのに役立つズームステレオ顕微鏡によって支援されます。FLEXTRAK 2MBは、PCまたはPDAに接続してリアルタイムのデータロギングと分析を行うこともできます。これにより、アプリケーション固有の要件を満たすために、エッチングステップの監視と記録が容易になります。MARCH FLEXTRAK-2MBエッチャー/アッシャーには、急速冷却サイクルが含まれており、強制空気ストリームでウェーハを急速に冷却することでエッチング時間を大幅に短縮し、エッチング工程を短縮します。それは300mm/minスキャン速度および0。16から5mmのエッチングの深さで作動できます。さらに、さまざまなプロセスレシピでカスタマイズ可能で、ガス制御、ポンプ、スクラバーシステムが付属しています。MARCH FLEXTRAK 2MBは、さまざまな素材に精密で詳細なエッチングを作成するために使用できる信頼性の高い強力なエッチャー/アッシャーです。高速で効率的で、ハイエンドのエッチングとアッシングを必要とするアプリケーションに最適なさまざまな機能が付属しています。