中古 MARCH Fiex Trak #9148640 を販売中

MARCH Fiex Trakは、半導体デバイスおよびパッケージング製造のニーズに対応するために特別に設計された高度なエッチングおよびアッシング装置です。Fiex Trakは、革新的なマルチステージエッチングシステムにより、さまざまなウェハサイズ、材料、プロセスのエッチングプロセスを提供します。MARCH Fiex Trakは、ICP （Inductively Coupled Plasma）パワーの600Wを利用して、さまざまなプロセスガス構成による均一なエッチングを提供します。大容量のRIEエッチングは、シリコン、SiO2、石英など、ほぼすべての基板材料を効果的に処理します。Fiex Trakの高度なユニットソフトウェアは、すべてのエッチングパラメータを制御し、指定されたウエハサイズで最適なプロセス均一性を確保します。さらに、MARCH Fiex Trakには高度なAsher機能も搭載されており、ウェハレベルのパッケージング、フリップチップアセンブリ、鉛フリーのはんだ付けに大量のプラズマ灰プロセスを使用できます。統合されたアッシャー管理マシンにより、Fiex Trakは一貫した均一で再現性のあるプロセス制御で灰プロセスを正確に実行します。MARCH Fiex Trakは、幅広い半導体製造プロセスに高性能な結果をもたらすように設計されています。Fiex Trakは、高度なツールソフトウェア、使いやすいユーザーインターフェイス、高度なプラズマエッチングおよび灰プロセスを備えており、最高レベルのプロセス性能と最大の運用効率を実現するための最適な選択肢です。その高度な技術により、高速で信頼性の高いプロセスが保証され、毎回一貫した高収量ウェーハが得られます。