中古 MARCH CS 1701 #9268939 を販売中

MARCH CS 1701は、高精度の微細加工を必要とする接続システムをサポートするように設計されたフルオートエッチャー/アッシャーです。その特徴は、エッチングおよびアッシングプロセスのための0。5〜10ミクロンの幅広いプロセス範囲を含み、その精度と再現性は最大の材料品質を保証します。半導体デバイス、MEMS、バイオチップ、プリント基板、ディスプレイパネルなどのアプリケーションに使用できます。Etcher/Asherは、生産性と柔軟性を向上させるモジュラー設計を備えています。バッチとシングルウェーハの2つのプロセスモードをサポートできます。バッチ処理は、大量のワークを処理する必要がある場合に使用されますが、シングルウエハ処理は、小さなバッチや高精度プロセスに大きな利点をもたらします。エッチャー/アッシャーは、塩素、酸素、六フッ化硫黄、窒素、ヘリウム、水素など、さまざまなプロセスガスをサポートします。また、アルミニウム、銅、シリコン、ヒ素ガリウムなどのさまざまな基材にも対応しています。圧力、温度、濃度などのプロセス条件を正確に制御することで、最良の結果を得るためにプロセスパラメータを最適化することができます。エッチングおよびアッシング処理に加えて、プロセス監視とデータ収集を改善するためのリアルタイム監視機能も備えています。各チャンバーの圧力、温度、流量、およびエッチタンク内の電解質レベルと電流を測定および通信できます。また、タッチスクリーンインターフェイスを介して表示することができ、ユーザーは、トータル処理時間、経過時間、および各チャンバの瞬間圧力、温度、流量などの追加情報にアクセスすることができます。このユニットには、プロセスを安全に動作させるためのさまざまな安全機能が装備されています。これらには、各チャンバー内の圧力センサーとインターロック、およびアラーム通知付きの温度および流量センサーが含まれます。部屋のドアはまた部屋のドアが開いたときすべての人員が区域からあることを保障するために遠隔にアクセスすることができます。さらに、漏れ検出技術は、チャンバーのシールを監視して、人員と製品を危険な漏れから保護します。機械は、プロセス制御の全体的な効率を確保するために、オートメーションシステムの広い範囲に統合することができます。これにより、柔軟性が向上し、プロセス全体を合理化することができます。このツールはまた、正確な動きと正確な位置制御のための高性能モーションコントロール機能を備えています。それはダウンタイムを最小にし、効率を改善するために容易なセットアップおよび操作のために設計されています。