中古 MARCH CS 1701 #9149586 を販売中
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ID: 9149586
ウェーハサイズ: 4"-6"
Reactive Ion Etch (RIE) system, 4"-6"
Automatic tuning
Mass flows:
100 Sccm
250 Sccm
N2 Purge
(2) Clam shells
Power: 0-600 Watts power (AE RF Generator RFX-600).
MARCH CS 1701は、メーカーが生産ライン内に統合できるコンパクトで効率的な操作のために設計されたエッチャーおよびアッシャーです。これは完全に自動化されたエッチャーおよびアッシュソリューションであり、最も一般的なプロセス化学と互換性があり、生産環境に適しています。エッチャーとアッシャーには、非常に洗練された操作が簡単な内蔵のコンピューター制御装置が付属しています。必要なプロセス化学物質のセットアップと校正に数分かかるため、エッチングの不良や貴重な資源の浪費のリスクが軽減されます。このシステムは、ユーザーが最大の効率と信頼性のためにプロセスを制御し、監視し、微調整することができるLCDタッチスクリーンディスプレイとユーザーフレンドリーな設計を持っています。安全を確保するために、エッチャーとアッシャーは、フェイルセーフな温度制御、圧力制御、ガス監視システムなど、いくつかの安全機能で設計されています。さらに、エッチャーとアッシャーはいくつかのタイプのガスで動作し、全体的なプロセスのより良い制御を可能にします。強力な換気装置、緊急停止装置、HEPAのろ過ツールを備えており、ガスや粒子の適切な除去を保証します。MARCH CS-1701は洗練されたモダンなデザインで、あらゆる生産ラインに簡単に統合できるように慎重に設計されています。また、高効率で信頼性の高い動作により、幅広い基板に精密エッチングとアッシングを提供します。その先進的な設計により、反りや粉砕をすることなく、ほぼすべての厚さの有機材料と無機材料の両方に対処することができます。エッチャーとアッシャーは、高い生産スループット速度を提供し、時間と速度が本質である大容量操作に最適です。使いやすい機能と素早いセットアップにより、短期間の生産作業や迅速なプロトタイピングに最適です。さらに、それは費用対効果が高いので、メーカーは依然として素晴らしい結果を得ながらお金を節約することができます。
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