中古 MARCH AP 1000 #9409427 を販売中

MARCH AP 1000 Asherは、2つの独立したガスパネルと4つの温度ゾーンを備えたプラットフォームを備えた自動ウェーハエッチャー/アッシャーです。ユーザー定義のパラメータに従って、最大6インチのサイズのウェーハを処理するために使用されます。装置のガスパネルは最大20種類の異なるガスで動作し、それぞれ独立して制御された表示窓を採用しています。これにより、リアルタイムでエッチング処理を監視できます。MARCH AP1000は最先端のスキャン機能を備え、エッチング工程の精度を確保するための高度なビジョンシステムを備えています。このユニットは、エッチングする材料を正確にターゲットにすることができる光学イメージングマシンと同期した焦点電子ビームを使用しています。統合されたウェーハモーションツールは、エッチング工程を均等に分配するために、ウェーハがエッチャー内を移動できるようにすることで、速度と精度を保証します。4つの温度ゾーンにより、エッチャーは熱プロセスをより良く制御することができ、それぞれの独立したゾーンは0°Cから400°Cの範囲で加熱および冷却することができます。これにより、異なる温度AP-1000異なるウェーハに適用することができます。さらに、AP1000には、クリーンな作業環境を提供するための自動洪水/パージング資産も含まれています。MARCH AP-1000は、自動化された正確なエッチング操作に欠かせないツールです。このモデルは、調整可能なガス圧力と温度、独立したゾーンの温度制御、効率的なスキャンおよびイメージング機能などの利点と機能のコレクションを提供します。この装置により、エッチング処理を徹底的かつ効率的に制御することができ、所定のパターンでウェーハを製造する際の精度と再現性を確保します。