中古 MARCH AP 1000 #9311918 を販売中

MARCH AP 1000は、MARCH Instruments製のアッシャーまたはエッチャーです。それは高精度および正確さの基質、通常グループIIIおよびグループIVの半導体を、エッチングするように設計されている独立、ベンチの上の装置です。シングルピースの石英チャンバーとプログラマブルロジック制御（PLC）を備えており、温度、圧力、流量などの側面を正確に制御できます。制御システムは高度にカスタマイズ可能でプログラム可能であり、複雑なエッチング処理を可能にします。電子ビーム源を採用し、高度なプロセス制御を可能にし、様々な特殊エッチングプロセスに使用できます。MARCH AP1000は、1〜6インチの厚い基板を幅広く加工することができ、半導体業界では、ディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）、イオンミリング、プラズマエッチングなどのエッチング工程や、電気光学製品の製造に広く使用されています。AP-1000は、信頼性と再現性の高いエッチングプロセスを提供するように設計されており、半導体製造プロセスで人気のある選択肢となっています。3月 AP-1000は、アルゴン、酸素、キセノン、窒素など、さまざまなプロセスガスを装備することができます。オプションのマスフローコントローラを使用して、流量と圧力を監視および調整することもできます。さらに、プロセスに応じて、リザーバオプションの配列が利用可能です。自動化されたカセットツーカセット基板処理機と特許取得済みの自動フラッシングツールにより、AP 1000は半導体業界で信頼性の高いワークホースであることが証明されています。