中古 MARCH AP 1000 #9267760 を販売中

MARCH AP 1000は、半導体ベンチ処理用に設計されたエッチャー/アッシャーです。小規模プロジェクトのための信頼性の高い低コストのソリューションであり、単一のユーザーが素早く正確にパターンを作成し、材料を正確に除去することができます。MARCH AP1000は、RFジェネレータと機械駆動システムを使用して、エッチング部品をプラズマまたはIIRクリーンチャンバーのプラテンに転送するベンチトップエッチャー/アッシャーです。陰極アークイオン源と統合プロセスモニタは、最大1000MHzの速度で効果的なエッチングソリューションを提供します。エッチングとアッシングのプロセスは、使いやすいコントロールパネルを介して制御され、迅速なセットアップとパラメーターの変更を可能にします。統合されたガスマニホールド構成により、SF6やCF4などさまざまなガスを処理することができ、4クアドラントシャッターシステムを使用することで最大5つの部品を同時に処理することができます。これにより、エッチング処理の速度をさらに向上させることができます。AP-1000には、サンプル処理前の適応オプション、冷却ブロワー、プロセス監視、欠陥除去、簡単なメンテナンスなどの多くの高度な機能が含まれています。このユニットにはパワーモニターが含まれており、圧力および温度制御時の精度、および電圧監視を提供します。さらに、500mm （20インチ）の開口部はサンプルに簡単にアクセスでき、中断を最小限に抑えて処理することができます。全体として、MARCH AP-1000は、さまざまな半導体プロセスに最適なエッチャー/アッシャーです。小規模プロジェクトのための信頼性の高い低コストのソリューションであり、単一のユーザーが素早く正確にパターンを作成し、材料を正確に除去することができます。このシステムは使いやすく、自動化された機能により、迅速で効率的な生産作業を実現します。