中古 MARCH AP 1000 #9243188 を販売中

MARCH AP 1000は、正確で均一なエッチングとアッシングの結果を一貫性のあるプロセスで提供するように特別に設計されたエッチャー/アッシャーです。ウェーハ、フィルター、セラミック部品などの微小基板の加工に最適化されています。このモデルには、バッチ処理またはシングルウェーハ処理用の高性能シングルステーションが装備されています。エッチャー/アッシャーは、カスタムプロセスレシピを保存して即座に適用できる高度なプロセス管理システムで設計されています。また、画像認識技術とデータ分析機能を備えており、ユーザーは一貫した結果と再現可能な表面品質を保証できます。さらに、MARCH AP1000に組み込まれた機能は、マシンの操作を簡素化する直感的なユーザーインターフェイスを提供します。エッチャー/アッシャーは、安全でエネルギー効率が良いように設計された新しいICP非毒性プラズマ源を備えています。このプラズマ源は、有毒ガスの必要性を排除し、クリーンルーム用途に適しています。ICPプラズマソース技術は、プロセスの再現性と基板欠陥の減少により、均一なエッチングとアッシングの結果も保証します。エッチャー/アッシャーは、高性能で優れた機能に加えて、窒素流量、圧力および温度モニタリングシステム、および高度な診断機能を組み込むことにより、安全性の強化も実現しています。これにより、エッチングおよびアッシング処理中にリスクを最小限に抑えることができます。AP-1000はインストールとセットアップが簡単で、特定のニーズに合わせてカスタマイズできるさまざまなオプションが付属しています。また、エッチングチャンバー、基板ホルダー、ロボットアームなど、他のハイエンド製品と互換性があるように設計されています。これにより、ユーザーはプロセスの効率とスループットを最大化できます。全体的に、AP 1000は強力で直感的なエッチャー/アッシャーで、プロセスの一貫性を備えた正確で均一なエッチングとアッシング結果を提供するように特別に設計されています。マイクロサイズの基板プロセスを簡単かつ効率的に最適化するために必要なツールと機能をユーザーに提供します。