中古 MARCH AP 1000 #9172903 を販売中

MARCH AP 1000は、プロフェッショナルな半導体製造業市場向けに設計された高品質のエッチングおよびアッシャーです。それは完全に自動化され、プログラム可能なプラットホームで、一貫した、良質の処理を保障するために高度の特徴の広い範囲を装備しています。エッチャーには、高品質のエッチング速度を提供する高度な蒸気相エッチング技術が装備されています。このプラットフォームには、オートチューナー、安全装置、特許取得済みのガスフロー監視技術も装備されています。システムの主な機能は、ウェーハのエッチングとアッシングです。ウェーハは加工室に配置され、基板表面に望ましいエッチングパターンを達成するために、グロー放電プラズマ、低圧酸素およびその他の処理ガスの組み合わせにさらされます。機械はまた不必要な粒子から機械を保護するために粒子の封じ込めの単位を特色にします。エッチャーには高度なRFジェネレータがあり、エッチングとアッシングプロセスを正確に制御できます。この発電機は、1MHzから120MHzまでの周波数範囲の再現可能な高周波信号を生成することができます。また、5Vから1000Vまでの電圧範囲を備えており、エッチングされる特定の材料に適切な作業レベルを達成するために、一定の出力に設定または上下にランプすることができます。MARCH AP1000の安全ツールは、特に危険なプロセスを持つアプリケーションにとって重要な機能です。不正アクセスを防止するための連動アセットと、安全でない状態を検出した場合にプロセス全体を自動的にシャットダウンするE-Stopを備えています。このマシンには、特定のプロセスが完了したときに機器オペレータに警告するステータス監視モデルもあります。AP-1000は信頼性の高いエッチャーとアッシャーで、多種多様な半導体デバイスや部品の製造に適しています。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと複数のレベルのオートメーションを備えており、大規模なバッチ生産施設で使用することができます。また、高度に構成可能であり、新しい困難なアプリケーションに簡単に適応できるため、研究開発にも使用できます。AP1000は、あらゆる半導体製造環境に対応する強力で汎用性が高く信頼性の高いデバイスです。