中古 MARCH AP 1000 #9114384 を販売中

MARCH AP 1000は、スパッタリングやエッチングなど、幅広いプラズマベースのプロセスに最適なエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、シリコンや化合物半導体、ガラス、金属、セラミックス、有機材料など、幅広い基板に対応できます。このユニットには高度な電源が装備されており、DCとパルス駆動の両方を提供し、複数のプロセスを同時に実行できるマルチポケット非磁性プロセスチャンバーを備えています。また、MARCH AP1000は温度制御環境を備えており、プロセスチャンバー全体で正確な温度調節と均一性を実現しています。AP-1000設計は、高度なプロセスチャンバーを備えており、最大限の均一性と性能を確保します。80rpmの回転数を備え、最大8つのプロセスパラメータを設定でき、スパッタリング、エッチング、または2つの組み合わせなどのさまざまなプロセスを実行できます。また、3.5CFMまでのガスフローを生成することができ、直径8インチまでのウエハ処理が可能です。さらに、潜在的な問題の場合にオペレータに警告する真空ゲージ、アラームツール、および安全資産が装備されています。AP 1000には、さまざまな高度な制御および監視機能も含まれています。たとえば、このモデルには自動プロセス制御（APC）機器が含まれており、ユーザーはタスクを迅速かつ簡単に設定できます。さらにプロセス制御と監視のために、システムにはガスの流れを制御するための流量と圧力計、内部真空制御ユニット、手動圧力制御、および過負荷保護があります。AP1000は、エッチング、スパッタリングなどのプロセスに最適な機械です。シリコン、ガラス、金属、有機材料など幅広い基板に対応可能です。さらに、このツールには複数の安全制御機能が装備されており、オペレータが最高の安全性とプロセス制御を備えています。最後に、その汎用性の高い設計と高度な制御および監視機能により、ユーザーはプラズマベースのプロセスに最適なソリューションを提供します。