中古 MARCH AP 1000 #293825661 を販売中
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MARCH AP 1000は、幅広い材料のエッチング用に設計された完全自動半大気プラズマエッチャーです。高密度プラズマを使用して、高精度で再現性のあるサンプル材料の表面を効率的にエッチングします。プラズマエッチャーは、シリコン、金、アルミニウム、タングステン、フォトレジストなどの膨大な材料を安全に取り扱うことができます。このプラズマエッチャーは、中空カソードとRF発電機を備えたデュアル電極設計を採用しています。中空カソードによって生成される高密度プラズマは、優れた精度と再現性で小さな特徴をエッチングすることができます。RFジェネレータは、プラズマのエネルギーレベルを変調し、エッチング工程をより制御することにより、エッチング速度を制御するために使用されます。MARCH AP1000プラズマエッチャーは、高い再現性と精度により、非常に高いレベルの均一性でエッチング結果を得ることができます。これは、室内温度を低減し、一貫したエッチング条件を維持することができます内蔵チャンバー冷却システムを備えています。また、高温・高圧モニター、圧力センサー、ガス排気ポートなど、幅広い安全機能を備えています。このプラズマエッチャーは使いやすさを念頭に設計されており、詳細な操作情報を提供するユーザーフレンドリーなLCDインターフェースが付属しています。トップマウントされたタブレット入力システムを使用すると、エッチング処理を簡単にプログラムし、リアルタイムで進行状況を監視できます。AP-1000はまた、1つのバッチプロセスから次への一貫した結果を確実にするリアルタイムのプロセス制御を備えています。全体として、AP 1000プラズマエッチャーは、高い再現性と精度で行われる精密エッチングを必要とするあらゆる組織にとって必須のものです。ユーザーフレンドリーなLCDインターフェースと内蔵の安全機能を備えたこのプラズマエッチャーは、幅広い材料で一貫したエッチング結果を確保するための理想的な選択肢です。
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