中古 LOTUS SYSTEMS Sapphire #9216259 を販売中

LOTUS SYSTEMSサファイアは、幅広い半導体アプリケーション向けに設計された最先端のエッチャー/アッシャー装置です。これは、今日の高度なデバイス製造ラインのニーズを満たすように設計されており、正確で反復可能な結果を提供します。この精密エッチャーは、独自の気相化学供給システムを使用して、幅広い種類の金属を処理します。その革新的なデザインは、最高の精度と再現性を備えた多種多様なマイクロスケールパターンと機能を作成することができます。このユニットは、ユーザーのアプリケーションに応じて複雑な空間パターンだけでなく、等方性および異方性エッチングの両方が可能です。このエッチャーは一貫した結果を保障するために広範囲の制御機械を特色にします。これには、化学ガスを正確に供給するためのガス圧力コントローラ、正確なガス流量制御のためのガス流量監視ツール、およびエッチングプロセスを視覚的に監視するための石英窓が含まれています。サファイアには、レシピと高度な診断のカスタマイズを可能にする高度なヒューマンマシンインターフェース（別名HMI）ユニットも装備されています。LOTUS SYSTEMSサファイアは、研究室と生産ラインの両方で柔軟に使用できるように設計されています。CE、 REACH、 RoHS認証と同様に、インストールとメンテナンスを簡素化するモジュール設計を備えています。また、蒸着システムや真空システムなどの他のシステムとシームレスに統合するように設計されており、最大99。99％のエッチング精度の最適な性能を保証するためにテストされています。さらに、サファイアは、世界クラスの安全システムに裏付けられ、最高品質の基準に基づいて構築されています。安全機能には、低リーク感度のためのアップグレードされたダブルシールアセット、防火装置、および詳細な安全文書が含まれます。LOTUS SYSTEMSサファイアには、耐腐食性材料も装備されており、産業用および研究用の長寿命を保証します。サファイアは、あらゆるエッチングのニーズに最適な高度なエッチャー/アッシャーです。研究プロジェクトや生産ラインに使用されているかどうかにかかわらず、アプリケーションに関係なく、高精度、再現性、安全なエッチング結果を提供します。