中古 LFE PFS-PDE-PDS 501 & 504 #383 を販売中

LFE PFS-PDE-PDS 501および504エッチャー/アッシャーは、現在半導体業界で使用されている最も先進的なプラズマエッチングシステムの2つです。PFS-PDE-PDS 501と504は、複雑な半導体デバイスの製造に使用されるプラズマプロセスを優れた精度と制御性で組み込んだフィードマシンです。PFS-PDE-PDS 501は、複数の統合ステージとカスタマイズ可能なアプリケーターを備えたフル機能のエッチング機器で、物理的および化学的エッチング作業の両方に使用できます。このシステムは、プロセス機能の20の異なる組み合わせを提供する高精度のエンドエフェクターで設計されており、シリコン、モリブデン、酸化インジウムなどの材料を処理することができます。また、統合された多軸ロボットアームを備えており、プロセスを正確に制御できます。PFS-PDE-PDS 504は、パターン化された表面エッチングおよび蒸着プロセスに使用される、より洗練されたユニットです。高精度なモーションコントロール技術を搭載し、ディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）、ナノインプリントリソグラフィ（NIL）、イオンビームエッチングなど、複数のプロセスで構成することができます。また、材料を精密に除去するための精密なエンドエフェクタマニピュレータと、基板の温度と圧力を正確に制御する機能も備えています。LFE PFS-PDE-PDS 501および504システムに加えて、LFEは他のアッシャーおよびエッチャーモデルの範囲だけでなく、ユーザーが最適な生産性とパフォーマンスのために自分のツールをカスタマイズするのに役立つ幅広いアクセサリーや消耗品を提供しています。同社の製品はすべて、顧客アプリケーションの厳しい要件を満たすように設計されていますが、同社は包括的なテクニカルサポートとカスタマーサービスも提供しています。全体として、PFS-PDE-PDS 501および504エッチャー/アッシャーは、アプリケーションのニーズを満たすために幅広い機能と機能をユーザーに提供する高度なシステムです。精密なモーションコントロールとカスタマイズ可能なアプリケーターにより、幅広い加工作業に最適で、エッチングおよび成膜ジョブの精度と再現性に優れています。