中古 LFE 302-4IR #77365 を販売中

LFE 302-4IR
ID: 77365
ウェーハサイズ: 4"
Plasma stripper, dual 4" quartz chamber, 300 watt.
LFE 302-4IRは、LFE Technologiesが開発した、高度な金属エッチング/アッシング用途向けに設計されたフルオートエッチャー/アッシャーです。このデバイスの高度な機能は、最適なエッチング/アッシング性能と優れたスループットを提供します。302-4IRは、イオン化ガス(IG)の集中ビームと非常に微細なエッチング/アッシングを有する金属マスクの組み合わせを利用しており、薄く精密なエッチング/アッシングが可能です。高周波(HF)ジェネレータは、高出力を生成するように設計されており、IGを正確に集中させ、金属マスクを正確にエッチングまたはアッシュすることができます。LFE 302-4IRの高出力IG機能は、一貫した結果を提供し、エッチング/アッシング中に無駄な材料の量を減らすことにより、エッチング/アッシングプロセスを改善します。超高解像度エッチングアッシャーは、膜、レンズ、リッジなどのマイクロコンポーネントをエッチング/アッシュすることができ、他の標準的なアッシャーよりも精度と精度を向上させます。装置はエッチング/アッシング後の装置の容易なローディングおよび荷を下すことを可能にする4つの部屋システムが装備されています。エッチング/アッシングチャンバーには窒素パージも装備しており、エッチング/アッシング処理後に残った汚染物質を除去することができます。このデバイスには直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)が装備されており、キーボード、マウス、キーカードリーダーが標準装備されています。統合されたイーサネット接続により、リモートでの使用が容易になり、必要に応じてタイムリーかつ効率的なオンサイト修理が可能になります。ユーザーフレンドリーなGUIは、精密で精密なエッチングのためにアッシャーの簡単な制御と通信を可能にします。302-4IRは、最適な結果と優れたスループットで精密なエッチング/アッシングを提供するように設計されています。高精度の高出力IGおよび高周波ジェネレータ、汚染パージ機能を備えた4つのチャンバーシステム、および統合されたイーサネット接続を備えたユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスは、オールラウンドの高度なエッチャー/アッシャーを提供します。
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