中古 LAM RESEARCH Versys Kiyo #9223498 を販売中

LAM RESEARCH Versys Kiyoは、優れた切削精度を提供するエッチャー/アッシャーです。これは、優れた生産性と信頼性の高い耐久性を備えた高性能エッチャー/アッシャーであり、半導体業界で一般的に使用されています。Versys Kiyoは、高精度で高精度な多種多様な材料を効果的にエッチングし、アッシャーすることができる独自のダブルエンドディスク型の技術を採用しています。LAM RESEARCH Versys Kiyoは、2つの電極の間に非対称アークを形成し、集中したイオンのビームを生成する3ゾーンイオン源を備えています。この焦点を当てたビームは、小さな特徴の正確なエッチングとアッシングを可能にします。Versys Kiyoには、フッ素炭素、酸素、塩素、窒素、SF6など、エッチングやアッシング用の幅広いガスも含まれています。高圧ガス源は、各ガスが基板に到達する前に最適な圧力に達することを保証し、材料の均一なエッチングとアッシングをもたらします。LAM RESEARCH Versys Kiyoは、高精度、優れた生産性、および信頼性の高い耐久性を兼ね備えています。エッチングとアッシングのプロセスは非常に正確であり、ガスの流れは小さな特徴の中でも一貫した結果を保証するために調整されます。Versys Kiyoは、バッチまたはインラインプロセスとマルチチャンバー操作をサポートし、生産効率を最大化します。直感的なソフトウェアとユーザーフレンドリーな操作により、LAM RESEARCH Versys Kiyoはオペレータが使いやすく簡単になります。また、過熱・過電流保護、自動システムの遮断、安全性を高めるロックアウトキーなどの高度な安全機能を搭載しています。LAM RESEARCH Versys Kiyoは、材料の均一なエッチングとアッシングを保証するために、高い再現性と均一性を提供します。Versys Kiyoは、誘電体、ポリマー、半導体の幅広いエッチングおよびアッシングに最適です。