中古 LAM RESEARCH Vector #9167402 を販売中
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販売された
ID: 9167402
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
CVD System, 12"
Software OS: Window
Equipment status: In-line
Type: Non-SMIF
Automation online component: SECE
Wafer type: Notch at 6 o'clock
Main computer type: Others
Version: B 5.2_106
Software:
Y2K Completion: Yes
Process chamber:
Max pro-press: Gas flow- 100 torrs
Standby Temp: Online temp
Set point: Process dependent
Trigger value: 10
Process: Pesion
Transfer robot: Servo motor
Wafer mapping sensor: Each wafer detection
I/O Port stage: OHT
Scheduler controller: Flex 3
Computer: Pentium4 2.0GHz,HDD 80GB RAM 1024M
Operation panel: Front / Rear: Angle of 5-10
Operation monitor: 17" TFT LCD Monitor
2005 vintage.
LAM RESEARCH Vectorは、最先端の半導体ツールプロバイダであるLAM RESEARCHによって製造された強力なエッチャー/アスパーです。Vectorは、高精度の高収量の半導体を製造するための手頃な価格のプラットフォームを提供しています。誘電体デバイスやコンデンサ、抵抗、メモリセルなどの材料の効率的で費用対効果の高い製造を提供するように設計されています。LAM RESEARCH Vectorのコアコンポーネントには、ステンレス製のユニフォームチャンバーと直感的なインターフェースを備えたデスクトップユーティリティソフトウェアが含まれます。チャンバーは、小さな部品から大きなデバイスまで、さまざまなコンポーネントに対応するために構築されています。チャンバー内にはロボットアームを備えたサンプルホルダーがあり、遠隔操作でサンプルを操作し、進行状況を監視しながらパラメータを調整できます。ベクトルは超高精度エッチングプロセスを使用して、正確で一貫した結果を保証します。エッチング処理は、レーザーやプラズマなどのエネルギー源に依存して、サンプル表面から材料を微細で均一に除去します。このエッチングプロセスを使用すると、非常に小さな機能を印象的な精度で作成できます。LAM RESEARCH Vectorの高度なイメージング技術は、エッチングの結果を評価するために、ビデオカメラを使用してエッチングプロセスを検出し、監視します。ベクトルには、プロセスや温度制御など、さまざまなカスタマイズ可能なパラメータも用意されています。これにより、エッチングプロセスを個々のユーザーのニーズや要件に合わせて調整することができます。LAM RESEARCH Vectorは、エッチングプロセスを正確に制御することにより、従来のエッチングプロセスと比較して、わずかなコストと時間で高品質の部品を作成できます。強力なハードウェアと洗練されたソフトウェアを備えたVectorは、エッチングとアッシングのための非常に汎用性の高い強力なプラットフォームです。ユニフォームチャンバーは、これまでにない精度でユニークで精密な部品を製造することができ、イメージング技術とカスタマイズ可能なパラメータにより、経済的で信頼性の高いエッチングシステムをお探しのユーザーに最適です。
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