中古 LAM RESEARCH Vector Frame #293667429 を販売中

LAM RESEARCHベクターフレームは、エッチングや基板の幅広い開発のための高度なエッチャー/アッシャーです。このマシンは、さまざまな基板に対応できる高スループットで信頼性の高い設計を備えています。エッチングと開発の両方で最先端の技術を搭載しています。ベクターフレームは、分解能を損なうことなく基板の高速エッチングを可能にするデュアルビーム蒸発電子銃を採用しています。エッチングプロセスは、ウェハ全体にわたって均一な処理を行うための正確なビームステアリングを可能にするマルチチャンバー電動ステージによって監視されます。基板は、高速ローディングとアンロードを可能にする4ポストメカニカルシステムを使用してフレームにクランプされます。LAM RESEARCHベクターフレームは、薄い基板をソフトベーキングするためのRFモジュールとヘリウムリークを備えたロードロックシステムを備えており、不活性な雰囲気の中でウェーハ処理を可能にします。ウェーハ処理は、ヘリウムスクラバーにリンクしてシステムから汚染物質を除去することもできます。ベクトルフレームには、従来のシステムに比べていくつかの利点があります。真空ベーキングプロセスの必要性を排除し、時間とコストを節約します。さらに、4ミクロンの精度で直径2「〜4」の基板を加工することができます。このマシンは、1時間あたり最大20個のウェーハを処理でき、操作が非常に簡単です。LAM RESEARCHベクターフレームは、幅広い機能を備えた強力で信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。各種基板の高精度エッチング・加工に最適です。この機械は、精度と再現性で優れた精度と結果を提供します。高度な機能を備えたVector Frameは、さまざまなエッチングおよび開発アプリケーションに最適です。