中古 LAM RESEARCH Vector Extreme #9375208 を販売中

LAM RESEARCH Vector Extreme
ID: 9375208
CVD System.
LAM RESEARCH Vector Extremeは、高精度のエッチャー/アッシャーで、高いスループットと高い歩留まりを実現します。生産と研究のための最先端のモデルであり、生産性を重視したエンジニアリング設計とアーキテクチャを備えています。このエッチャー/アッシャーは、さまざまなタスク、プロジェクト、および基板に対して最大限の柔軟性を可能にするカスタマイズ可能な設計を備えています。それは85x48 inの最高のスプレー部屋のサイズに形成することができます。そして50-250Cからの温度。24 "/minの最高速度を達成できます。そしてより速い動きのための精密な線形ステッピングモーターおよび直接ドライブ線形ガイド・システムが装備されています。エッチャー/アッシャーには、ガス、エッチング、冷却経路も統合されており、正確で再現性のある高効率プロセス結果を実現します。Vector Extremeのコントロールパラメータは、ユーザーが高度な機能を最大限に活用できる直感的で使いやすいソフトウェアのおかげでカスタマイズできます。さらに、このエッチャー/アッシャーは、埋め込みクワッドチャネルダイオードを使用して処理された基板の厚さを均一にする自動エンドポイント検出機能を備えています。高精度の高度なピンキャリーシステムとオートヘッドホーミングを備えています。LAM RESEARCH Vector Extremeは、ステンレス製のチャンバーと標準のダスト/シャワーフィルターを備え、信頼性の高い生産対応クリーンルーム対応プラットフォームを提供します。自動プロセスの中断、空の負荷停止検出、複数のコンセント電源などの安全機能により、電源が中断された場合のユーザーの安全性を確保します。Vector Extremeは、エッチング/アッシングなどの用途で高い生産性と長期的な信頼性をサポートするように設計されており、ユニット生産あたりの低コストに適しています。データログと包括的なアラームシステムを備えたこのエッチャー/アッシャーは、最新の研究および生産ラボに最適です。
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