中古 LAM RESEARCH Vector Extreme #9235820 を販売中

LAM RESEARCH Vector Extremeは、優れた信頼性、生産性、精度を提供するように設計されたエッチャー/アッシャーです。Vector Extremeは、パフォーマンスを最大化し、プロセス制御を改善しながら変動を低減する統合ソリューションを提供します。エッチングとアッシングのプロセスで最高の密度と精度を提供し、エッチング時間を短縮しながら、最も困難なアプリケーションに対応します。LAM RESEARCH Vector Extremeの高度な設計は、エッジ遷移の最適化、高度な熱管理、ファインピッチコーティング機能を備えており、あらゆるアプリケーションに優れたエッチング精度と精度を提供します。このインストゥルメントは、オープンアーキテクチャを備えたオールインワンパフォーマンスプラットフォームで設計されており、すべてのコンポーネントの効率的なプロセス統合と最適なパフォーマンスを可能にします。革新的な2ゾーンプロセスチャンバーを使用して、迅速な応答と高忠実度の結果を実現します。Vector Extremeは、チャンバー充電を削減し、過剰な粒子を最小化するように設計された最新の真空/ガス・インタフェース技術を使用しています。また、エッチング工程の高速かつ正確な観察を可能にする可変ビーム技術を搭載しています。高周波電源により精度と再現性を向上させ、エッチング/アッシングの素早い切り替えを可能にする高度なビーム制御技術を備えています。LAM RESEARCH Vector Extremeは、制御とプロセス最適化のための高度なソフトウェアパッケージで設計されています。プログラマブルで自動化されたエッチングプロセスを実行し、正確な出力を確保するために厳密な制御パラメータを維持することができます。また、強力なデータ収集システムを備えており、ユーザーは時間の経過とともにエッチングとアッシングの品質を追跡することができます。Vector Extremeはモジュラープラットフォームで設計されており、複数の構成で利用できます。それはさまざまな適用および完全なシステムオートメーションを収容するように設計されています。それは大きいスループットの適用のための理想的な選択であり、さまざまなエッチングおよびashing効果をテストします。また、新しいフィルム材料やプロセスの特性評価などの研究用途にも使用できます。LAM RESEARCH Vector Extremeは、あらゆるエッチングまたはアッシング用途に優れた性能とプロセス精度を提供する信頼性の高い汎用性の高いエッチャー/アッシャーです。