中古 LAM RESEARCH Vector Extreme #9235156 を販売中

LAM RESEARCH Vector Extreme
ID: 9235156
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2008
CVD System, 12" 2008 vintage.
LAM RESEARCH Vector Extremeは、超高選択性、精度、およびスループットのために設計されたエッチャー/アッシャーです。高度なレーザー加工プラットフォームを備えており、難易度の高い材料のファインピッチパターニングを可能にします。また、高速応答ビーム位置決め技術を搭載しており、優れたパフォーマンスと全体的なスループットを実現します。プラスシリーズレーザーハイエネルギーおよび低エネルギーエッチング製品は、誘電体や半導体材料を含むさまざまな材料に非常に高い選択性を持つ高度なレーザマイクロマシニングを提供します。この装置は、複数のレーザー源と機械全体に配置された高密度高感度検出器を組み合わせています。これにより、非常に高い精度と高速応答時間が得られます。Vector Extremeは、不規則な形状、微細な線、または複雑な構造の制御された超高速ベクトル駆動パターンのために、多数のレーザービームを同時に分配することができます。LAM RESEARCH Vector Extremeはまた、高速スループットのための超精密ビーム配置を提供します。これは、高度なビーム位置決めアルゴリズムと新しい高感度フィードバックシステムの組み合わせによって実現され、ビームが正確であり、ショットからショットまでの再現可能な位置決めを提供します。このユニットには、プロセス制御機能が統合されており、目的の結果の再現性と精度を保証します。この機能は、ユーザーが一貫したプロセスを開発し、望ましい結果を保証するためにエッチングパラメータを監視および調整するのに役立ちます。最後に、Vector Extremeは、制御と自動化のためのリモートシステムや、操作と監視のためのサードパーティのシステムなど、幅広い統合オプションを提供しています。これにより、マシンに柔軟性のレベルが追加され、単一のプラットフォームから幅広いアプリケーションを管理できます。
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