中古 LAM RESEARCH Vector Extreme #9137285 を販売中

LAM RESEARCH Vector Extremeは、半導体基板に高精度でテクスチャ加工された表面を形成するために使用される化学機械研磨（CMP）装置の一種である高度なエッチャー/アッシャーです。これは、大量の生産アプリケーションのための優れたパターンを提供します。Vector Extremeの柔軟性とスケーラブルな機能により、業界で最も広く使用されているエッチャー/アッシャーの1つです。LAM RESEARCH Vector Extremeにはデュアルおよびトリプルヘッドモジュールがあり、エッチングプロセスで高速な汎用性を実現します。3ヘッドモジュールは、高精度パターニングとデバイス製造用に特別に設計されており、ユーザーは単一のスキャンで選択的なエッチングプロセスを実現できます。Vector Extremeには、高精度パターニングのための均一なエッチングとバッチ一貫性を確保するための高度な高周波ドライブシステムが含まれています。LAM RESEARCH Vector Extremeは、コストを削減し、生産性を向上させるために設計されたいくつかのユニークな特性を備えて。反復スキャン機能により、エッチパラメータの迅速なチューニングが可能です。マルチダイ機能により、複数のダイを備えた単一のウエハで高精度なパターニングが可能です。統合されたスキャンフィルターシステムは、閉塞を最小限に抑え、スムーズで中断のない生産を保証します。さらに、minirampシステムはエッチヘッドの正確な動きを可能にし、精度を高め、無駄な化学物質と時間を削減します。Vector Extremeのデュアルヘッドモジュールは、研磨と化学研磨の独自の組み合わせを提供します。アンビエントメディア設計により、冷却能力が向上し、基板の歪みが低減され、歩留まりが向上します。さらに、LAM RESEARCH Vector Extreme独自のノズル技術により、パターニングプロセス中の均一なエッチング分布を可能にします。Vector Extremeの高度な機能は、柔軟性と拡張性によってさらに強化されています。メインフレームは、特定の製造要件に対応するために迅速に再構成およびカスタマイズすることができます。エッチヘッド、コーター、スピナー、チャンバーも簡単に交換可能で、製造メーカーは1つの工程から次の工程にすばやく変更できます。全体として、LAM RESEARCH Vector Extremeの高度な機能と拡張性により、大量生産アプリケーションに最適なツールとなります。その最先端の機能により、正確なパターニングと高速エッチングプロセスが可能になり、モジュラー設計により、製造メーカーは製造条件の変化に迅速に適応できます。コスト削減と効率化により歩留まりが向上し、業界でも有数のエッチングおよびアッシングソリューションとなっています。