中古 LAM RESEARCH Vector Express #9195777 を販売中

LAM RESEARCH Vector Expressは、最も要求の厳しい生産環境でパフォーマンスと信頼性を提供するために構築された高度なエッチャー/アッシャーです。このユニットは、特許取得済みのデュアルアスペクト比の熱成形を備えており、さまざまな材料や用途において非常に均質なエッチングを提供することができます。この装置は、高度なウェーハジオメトリ検出とコーナーエッジの均一な保護により、ウェーハカバレッジを最適化し、信頼性の高い効率的なプロセスを実現します。Vector Expressの統合冷却システムは、一貫した結果を得るために必要な範囲内で温度を維持します。このユニットは、複数のガスオプション、酸素豊富な通気および冷却回路を提供する緊急保護装置、およびNEMA （National Electrical Manufacturers Association）規格を満たすオールメタルエンクロージャなど、洗練された安全機能を備えています。LAM RESEARCH Vector ExpressもUL認証を取得し、CEマーキングを装備しています。Vector Expressの高度なユーザーインターフェイスにより、プログラミングと監視が簡単に行えます。これには、複数の条件設定パラメータを適用したり、保存されたエッチングレシピとプロセスプログラムを保存してリコールする機能が含まれます。このツールには、スクリプト処理およびエッチング処理を制御するための機能を提供するいくつかのスクリプト言語が含まれています。さらに、エッチャー/アッシャーには、LAM Vector Controlソフトウェアなどのいくつかのソフトウェアツールがあり、ユーザーはリモートのPCまたはラップトップからエッチングプロセスのすべての側面を監視、追跡、制御できます。このソフトウェアは、ウェーハ温度、チャンバー圧力、およびその他の重要なプロセスパラメータに関するリアルタイムデータを提供するように設計されています。LAM RESEARCH Vector Expressは専門の実験室および研究センターのために設計されている上限、信頼でき、有効なエッチャー/asherです。高度な安全アプリケーション、均質なエッチング、ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、エッチングのニーズに合わせた包括的なソリューションをお探しのお客様に最適です。