中古 LAM RESEARCH Vector Express #9137283 を販売中

LAM RESEARCH Vector Expressは、ウェハレベルの処理ニーズに合わせて設計された高性能エッチャー（アッシャーとも呼ばれる）です。Through-Silicon-via （TSV）、半導体包装、MEMS、光学部品など、さまざまな先端技術エッチング用途に使用されています。ベクターエクスプレスは、光による電気化学エッチング（LIEE）技術を使用しています。これは、基材の損傷や除去を受けることなく、さまざまな基板に使用することができます。LAM RESEARCH Vector Express装置は、制御された条件下で高精度のエッチングが可能で、10nmまでの極めて精密なパターンと、高収量デバイス製造に必要なエッチング因子を実現します。エッチングパルスパラメータ、光源強度、ガスタイプなどの条件をサンプルや化学物質ごとに設定できるため、基板ごとに最適なエッチング性能が得られます。主要なプロセスおよびオーブンはプロセスからの粒子数そして汚染を減らすのに真空の部屋を使用します。Vector Expressは温度制御、熱電対連結温度制御です。この機能により、温度安定性が確保され、均一なエッチングプロセスと高品質のデバイスの生産に不可欠です。また、自動化された冷却ユニットを使用して時間効率を向上させ、冷却サイクルの終了を待つ必要がなくなり、ノンストップ処理が可能になります。機械はまた、精度と再現性を確保するために、抵抗制御、レシピ制御、フルプロセス監視などの自動およびユーザーインターフェースソリューションを提供しています。さらに、このツールは、光放射スペクトル検出および解析を含む統合プロセス診断、ならびに走査電子顕微鏡（SEM）や接触角イメージング（CAI）などのイメージング機能を提供します。LAM RESEARCH Vector Expressは、科学研究と産業製造の厳しいプロセスのニーズを満たすように設計されています。この資産はISO 9001およびISO 14001の認証を受けており、業界標準で定められた厳しい安全性と品質要件を満たしています。