中古 LAM RESEARCH Vector Express #9099741 を販売中
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販売された
ID: 9099741
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
CVD System, 12"
Front UI
System controller: MC3E, 02-257935-00
Module Controller: MC3E, 02-253704-00
IOC: IOC No.0, 1, 2, 3 HDSIOC
ATM Robot & controller: Brooks reliance 8 / Friction type / controller 129974
Trust controller: C-2027-D01
Main power box: 208VAC /3 Phase main 150A, full load 100A
ULPA Filter
Pod loader: 3 / Fix load 6M
LL/FE Interface PCB: 03-283968-00
ATM Door valve: (2) VAT
Chamber slit valve: (2) SMC
L/L Manometer: 10 Torr 750B 11TCE2GK
Vacuum switch
LTM type: LTM II
Preheat pedestal
Pedestal lift type: Servo motor
Vent / purge valve
L/L On-board pump: Kawasaki 27-283364-00 NV60N-2
Module type: PSIN
HF Generator: Apex 3013
LF Generator: PDX 2500
HF Auto matcher: 27-279938-00 / Navigator 10013-L80MFI 3155162-002 D
RF Distribution type: Balance kit
RPC Source: Large RPC / Astron hf-s / 27-282770-00
RPC Power supply: AX7645
Pedestal: Standard type
Showerhead
Endpoint detector: IREPD - MKS
Gas box: 02-323496-00 / SRD 200107436
MFC: Brooks SLA7950S
MFC A: N2O(L) 1500
MFC B: N2 20000
MFC C: Ar 10000
MFC 1: SiH4 1500
MFC 2: N2 10000
MFC 5: He 20000
MFC 6: NH3 20000
MFC 7: N2O(H) 25000
MFC 8: O2 30000
MFC 9: NF3 10000
Arm position detector: Local manufactured option
Gauge monitoring kit: Local manufactured option
Spindle type: Servo motor, 27-278697-00
Stn No.1 pin lift type: Servo motor
2007 vintage.
LAM RESEARCH Vector Expressは、半導体製造業界の最先端アプリケーションのニーズを満たすように設計された次世代エッチャー/アッシャーです。この装置には4つの強力なエッチングおよびアッシング・システムが装備されており、それぞれ独立してさまざまな材料をエッチングおよびアッシュすることができます。エッチングおよびアッシングシステムは、高出力の自動制御システムで独自に設計されており、信頼性と正確な結果を提供します。このシステムにより、複数のエッチングとアッシングを同時に操作し、最高品質のエッチングとアッシングの結果を生成することができます。自動化された制御ユニットは、直感的なメニューとシンプルなユーザーインターフェイスを提供し、ユーザーは自信を持ってエッチングとアッシングのプロセスを制御することができます。このマシンは、エッチングとアッシングのレシピの広い範囲を操作するように設計されており、ユーザーが所望のプロセス手順を達成できるようにしています。このツールはまた、可変エッチング速度、プログラム可能な温度と圧力設定、および可変ガスフローなどの高度な制御機能を利用しています。アセットには、エッチングとアッシングのプロセスを監視するための診断ツールも組み込まれており、より良い品質管理を可能にしています。Vector Expressは、強化された安全機能を使用して、エッチングおよびアッシングプロセスの一貫性と精度を保証します。これは、チャンバーの過酷な環境から敏感な部品を分離するユニークなチャンバー構造法を利用しており、チャンバーに損傷を与えることなくエッチングおよびアッシング処理を行うことができます。このモデルには、エッチングおよびアッシング工程で使用される危険な化学物質が作業エリアに侵入するのを防ぐためのユニークな蒸気タイトシールも含まれています。この装置には、エッチングおよびアッシングプロセスに関するリアルタイムのレポートを提供する強力な診断ツールも含まれており、ユーザーはそれに応じてエッチングおよびアッシングパラメータを監視および調整することができます。この診断ツールは、迅速なトラブルシューティングを可能にし、ユーザーにシステムのパフォーマンスに関するフィードバックを提供します。このリアルタイムフィードバックにより、ユーザーは最高品質のエッチングとアッシング結果を得るためにユニットを最適化することができます。LAM RESEARCH Vector Expressは、マシンの所有コストを削減する高性能機能も提供します。手作業によるメンテナンスはほとんど必要なく、自己校正機能により一貫した品質と信頼性が保証されます。モジュラー設計により、追加のエッチングおよびアッシングシステムを組み込むことができます。また、ユーザーのニーズに応じてツールを上下に拡張する柔軟性も提供します。Vector Expressは、半導体業界で最も要求の厳しいアプリケーションにも対応するエッチングおよびアッシングソリューションを提供する高性能で信頼性の高いツールです。その高度な機能と柔軟性により、あらゆる半導体メーカーの生産ラインに不可欠な部分であり続けることができます。
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