中古 LAM RESEARCH Torus 300S #9294018 を販売中

LAM RESEARCH Torus 300Sは、高度な機能を提供する業界をリードするエッチャー/アッシャーです。このシステムは、複雑なデバイス構造を処理するための革新的なエッチングとアッシング技術の組み合わせを提供するために使用される最初のものです。Torus 300Sに付属する独自のプロセス機能には、シリコン、III/Vおよびその他のさまざまな材料のプロフェッショナルグレードのエッチングおよびアッシングを実行する機能が含まれます。LAM RESEARCH Torus 300Sは、高精度のステッピングモータ駆動ステージを備えた大面積エッチング/アッシュチャンバーを備えており、最大8インチのウェハサイズと高度なエッチング/アッシングシーケンスを実現します。エッチングおよびアッシングプロセス機能には、回転および垂直パターニング、誘電体エッチングおよびストリップ、パターン転送、異方性エッチング、抵抗エッチング、およびギャップ閉鎖が含まれます。また、チャンバー制御用の高度なソフトウェアと制御ハードウェア、および高度なエッジ絶縁技術を備えています。Torus 300Sエッチャー/アッシャーは、最も厳しい要件を満たすように設計されており、高精度のプロセス制御により、あらゆるエッチング工程での均一性と優れた生産スループットを実現します。優れたプロセスフィデリティを備えているため、均一度の影響を最小限に抑えた単方向パターニングで5nm以下の構造を作成できます。さらに、超高生産性により、200〜400nmの露光範囲で一貫した重要な機能性能を実現します。ユーザーフレンドリーな機器は、前任者と比較してシームレスに統合されたハードウェアコンポーネントと機能を提供し、高度なCMOS、 MEMS、 パワーIC、パワーアンプ、RFID、 MEM、 MCMなどのさまざまなエッチング/アッシングアプリケーションに最適なシステムです。また、ハイアスペクト比の機能、ナノチャネル、エッチドライエッチング後処理などの特殊なエッチングプロセスもサポートできます。全体として、LAM RESEARCH Torus 300Sは、最新の技術と独自の機能を備えたプレミアムエッチャー/アッシャーであり、複雑なデバイス構造処理のために利用可能なトップエッチング/アッシングツールの1つです。プロセスにおいて最高の精度、スループット、信頼性を必要とするデバイス設計者に最適です。