中古 LAM RESEARCH Torus 300S #9268953 を販売中

LAM RESEARCH Torus 300Sは、大量の製造アプリケーションで高精度のエッチングとステンレス製灰を提供するように設計されたエッチング/吸引装置です。Torus 300Sは、高精度のフローティングチャックを含むさまざまな機能を備えており、正確な基板配置を保証します。複数の頻度エッチングのための統合されたカスケーディングRFの発電機；ハンズフリーアッシングプロセス。Web対応の自動プロセス制御システムです。LAM RESEARCH Torus 300Sは、フラットパネル機能と高精度のフローティングチャックにより、小型および大型基板のエッチングに最適です。RFジェネレータは、完全に調整可能な電圧範囲で、多周波エッチングを含むさまざまなエッチング処理を可能にします。フローティングチャックは、正確な基板位置決めを可能にし、高精度のエッチングとアッシングを保証します。さらに、Torus 300Sにはハンズフリーアッシングプロセスが装備されており、手動で介入することなく効率的なステンレススチールアッシングが可能です。LAM RESEARCH Torus 300Sは、Web対応の自動プロセス制御ユニットも備えており、エッチングとアッシングのプロセスをリアルタイムで監視できます。このプロセス制御マシンは、高度な論理レシピを通じてプロセス最適化を提供するように設計されています。Torus 300Sには、ジョブトラッキングと最適化のためのリアルタイムフィードバックツール、最高品質のエッチングプロセスを保証するための統合された光学品質管理資産など、さまざまな監視機能が含まれています。さらに、LAM RESEARCH Torus 300Sは、最も要求の厳しい環境および安全基準を満たすように設計されています。その内部はステンレス鋼および陽極酸化されたアルミニウムと組み立てられ、長期耐久性を保障します。このモデルには、すべてのプロセスガスを検出および監視するように設計された統合ガス安全装置も装備されています。Torus 300Sは、大量の製造アプリケーションで高精度のエッチングおよびアッシングプロセスを提供するように設計されています。高精度のフローティングチャック、統合されたRFジェネレータ、ハンズフリーアッシングプロセス、Web対応の自動プロセス制御システムなど、その機能の範囲は、高精度の結果と最大のプロセス制御を必要とするエッチャーやアッシャーに最適です。