中古 LAM RESEARCH Torus 300S #9235357 を販売中

LAM RESEARCH Torus 300Sは、LAM RESEARCHの最新世代のPVD製品の先進的なエッチャー/デアです。センシティブ半導体材料のエッチング、ストリッピング、パターニング用に設計された垂直ベンチトップ装置です。非常に高速なエッチング速度により、Torus 300Sは優れた均一性と生産性を提供します。LAM RESEARCH Torus 300Sは、高い平行性と低粒子汚染を提供する強力で柔軟なエッチャーです。エッチャーは、超伝導体、MEMS部品、シリコンウェーハのエッチングなど、さまざまな用途に最適です。高速エッチングプロセスは、バッチ処理とシングルウェーハ処理、MEMS処理の両方に適しています。Torus 300Sには、クリーンウェーハと剥離ウェーハの両方を処理できる高度なエッチング装置が装備されています。それは2つの独立した部屋が装備されています、それぞれはワークの両側でエッチングすることができます。独自の設計により、エッチング工程全体を完全に均一にすることができます。このユニットは、バッチまたはシングルウェーハ処理環境で使用するように設計されています。LAM RESEARCH Torus 300Sには、エッチング処理を監視、制御、調整するための高度な機能も搭載されています。これには、最適なガス分布のための必要な4チャネルフローメーターと、圧力および温度コントローラが含まれます。また、インターロックツール、非常停止スイッチ、過圧保護アラームなど、さまざまな安全機能も備えています。エッチング機能に加えて、Torus 300Sは高速回復クライオスタット、高解像度イメージング資産、コーティング用の高性能PVDモデルを備えています。エッチングされた表面の高解像度画像を撮影することができ、容易に解析できます。PVDシステムは、正しい材料と厚さが使用されていることを確認するのに役立ちますので、あらゆるエッチング処理の重要な部分です。LAM RESEARCH Torus 300Sは、一貫したパフォーマンスと優れた結果を提供する強力で信頼性の高いエッチャー/デアです。先進的な機能と機能を兼ね備えているため、高性能エッチングユニットを必要とする方に最適です。